Il test del tecnicum conferma: l'impianto di pulizia di BvL soddisfa i requisiti di alta purezza dell'industria dei semiconduttori

Il sistema di pulizia a immersione BvL Atlantic soddisfa i requisiti più elevati a livello di Grado 1 e Grado 2 ed è utilizzato nell'industria delle forniture per semiconduttori, nell'industria ottica e nella tecnologia di precisione.

Nel quadro di apposite serie di test nel laboratorio della BvL Oberflächentechnik GmbH è stata verificata la capacità di pulizia dell'impianto di immersione Atlantic in relazione alle esigenze dell'industria dei fornitori di semiconduttori. L'obiettivo era una pulizia particellare e molecolare, almeno a un livello di grado 2, tipico delle applicazioni per ultra alto vuoto.

Nel test sono stati puliti componenti con geometrie complesse in titanio e alluminio, che presentavano tra l'altro capillari e incavi. L'impianto Atlantic ha superato questa sfida con risultati stabili del processo, risultando così una combinazione di efficienza, sicurezza del processo e flessibilità - perfettamente adattata alle esigenze dei fornitori di servizi di pulizia (CSP).

L'impianto di pulizia nel laboratorio dispone di nove stazioni di processo, tra cui sette vasche di pulizia e due di asciugatura. Sono impiegati, tra l'altro, moduli a ultrasuoni con 40 kHz e 75 kHz, asciugatura a caldo e sottovuoto filtrata HEPA H13, filtrazione fine, monitoraggio continuo del pH e della conduttività, nonché cicli di pulizia programmabili liberamente. Il processo di pulizia avviene in vasche di pulizia preparate con acqua VE - sia alcalina che acida. I successivi processi di risciacquo sono fondamentali per applicazioni ad alta purezza. Sono eseguiti con acqua di città e acqua ultrapura (Ultra Pure Water / UPW). L'UPW impiegata è fornita da un impianto di trattamento acqua ultrapura EnviroFALK. Questo è dotato di componenti come filtrazione a particelle, deionizzazione, osmosi inversa, sterilizzazione UV, scambio ionico, ultrafiltrazione nano e misurazione TOC. Con una capacità di trattamento di 300 l/h, si ottengono valori d'acqua eccellenti:

Conduttività: 0,06 µS/cm
Valore TOC: 13,58 ppb

Risultati validati nel settore ad alta purezza

Prima e dopo la pulizia vengono effettuate prime ispezioni visive nel Dark Room aziendale. Con UV e luce brillante, i componenti vengono esaminati per particelle e macchie. I risultati vengono successivamente confermati in laboratorio tramite PCM e documentano l'elevata capacità di prestazione del sistema Atlantic:

Purezza delle particelle (PMC) – Obiettivo: Grado 1
≥ 0,5 μm: 650.000 particelle/m² (limite: 2.000.000)
≥ 5,0 μm: 17.000 particelle/m² (limite: 20.000)
≥ 10,0 μm: 0 particelle/m² (limite: 1.000)

Tassi di outgassing nell'analisi dei gas residui (RGA) – Obiettivo: Grado 2
H₂O: 2,71E-4 mbar·l/s
C₆H₁₂ v: 2,53E-7 mbar·l/s
C₆H₁₂ nv: 2,80E-8 mbar·l/s

È possibile raggiungere anche le concentrazioni atomiche desiderate di elementi HIO o la contaminazione superficiale elementare.

I risultati dimostrano che con l'impianto Atlantic è possibile ottenere una pulizia riproducibile per applicazioni sensibili ad alta purezza – un aspetto centrale in settori come quello dei semiconduttori o della tecnologia del vuoto.

Nuovo procedimento presso BvL

Per componenti con geometrie particolarmente complesse, BvL offre da subito un nuovo metodo di pulizia fine industriale: la tecnologia a impulsi a vuoto (VIT). Il innovativo metodo di cambio di pressione migliora miratamente lo scambio di media e l'effetto di rimozione dello sporco in strutture di difficile accesso. VIT viene utilizzato come complemento in applicazioni di alta purezza selezionate – in particolare dove i metodi tradizionali raggiungono i loro limiti. Questo metodo viene impiegato in impianti di pulizia a cestello.

Alla fiera parts2clean dal 7 al 9 ottobre 2025 a Stoccarda, BvL presenterà i propri impianti di pulizia e discuterà, tra l'altro, di soluzioni personalizzate per applicazioni ad alta purezza: Padiglione 10, Stand F10.