La prueba del Technikum confirma: La planta de limpieza de BvL cumple con los requisitos de alta pureza de la industria de semiconductores

El sistema de limpieza por inmersión BvL Atlantic cumple con los más altos requisitos en los niveles de Grado 1 y Grado 2 y se utiliza en la industria de suministros de semiconductores, en la industria óptica y en la ingeniería de precisión.

En el marco de series de pruebas específicas en el laboratorio de BvL Oberflächentechnik GmbH, se verificó el rendimiento de limpieza del sistema de limpieza por inmersión Atlantic en relación con los requisitos de la industria de suministros para semiconductores. El objetivo era una limpieza particulada y molecular, al menos en el nivel 2, típico para aplicaciones de ultra alto vacío.

En la prueba se limpiaron componentes con geometría compleja de titanio y aluminio, que incluían, entre otros, capilares y recesos. El sistema Atlantic superó este desafío con resultados estables en el proceso, siendo una combinación de eficiencia, seguridad del proceso y flexibilidad, perfectamente ajustada a las necesidades de los proveedores de servicios de limpieza (CSP).

El sistema de limpieza en el laboratorio cuenta con nueve estaciones de proceso, incluyendo siete cubas de limpieza y dos de secado. Se utilizan, entre otros, módulos ultrasónicos con 40 kHz y 75 kHz, secado con aire caliente filtrado con HEPA H13 y vacío, filtración fina, monitoreo continuo de pH y conductividad, así como procesos de limpieza programables. El proceso de limpieza en sí se realiza en tambores de limpieza preparados con agua VE, tanto alcalinos como ácidos. Los procesos de enjuague posteriores son cruciales para aplicaciones de alta pureza. Se llevan a cabo con agua de ciudad y agua ultrapura (Ultra Pure Water / UPW). El UPW utilizado es producido por un sistema de tratamiento de agua ultrapura EnviroFALK, equipado con componentes como filtración de partículas, desionización, ósmosis inversa, desinfección UV, intercambio iónico, ultrafiltración nano y medición de TOC. Con una capacidad de tratamiento de 300 l/h, se logran excelentes valores de agua:

Conductividad: 0,06 µS/cm
Valor de TOC: 13,58 ppb

Resultados validados en el área de Alta Pureza

Antes y después de la limpieza, se realizan primeras inspecciones visuales en la sala oscura propia de la empresa. Con luz UV y luz brillante, se examinan los componentes en busca de partículas y manchas. Los resultados se confirman posteriormente en el laboratorio mediante PCM y documentan la alta capacidad del sistema Atlantic:

Pureza de partículas (PMC) – Objetivo: Grado 1
≥ 0,5 μm: 650.000 partículas/m² (valor límite: 2.000.000)
≥ 5,0 μm: 17.000 partículas/m² (valor límite: 20.000)
≥ 10,0 μm: 0 partículas/m² (valor límite: 1.000)

Tasas de desgasificación en análisis de gases residuales (RGA) – Objetivo: Grado 2
H₂O: 2,71E-4 mbar·l/s
C₂H₄ v: 2,53E-7 mbar·l/s
C₂H₄ nv: 2,80E-8 mbar·l/s

También se pueden alcanzar las cargas atómicas en porcentaje deseadas en elementos HIO o la contaminación superficial elemental en el proceso de limpieza.

Los resultados demuestran que con el sistema Atlantic se puede lograr una limpieza reproducible para aplicaciones sensibles de Alta Pureza, un aspecto central en áreas como la tecnología de semiconductores o el vacío.

Nueva tecnología en BvL

Para componentes con geometrías especialmente exigentes, BvL ofrece desde ahora un nuevo método de limpieza fina industrial: la tecnología de impulsos en vacío (VIT). Este innovador método de cambio de presión mejora específicamente el intercambio de medios y el efecto de eliminación de suciedad en estructuras de difícil acceso. VIT se utiliza como complemento en aplicaciones seleccionadas de Alta Pureza, especialmente donde los métodos tradicionales alcanzan sus límites. Este método se emplea en sistemas de limpieza por cesta.

En la feria parts2clean del 7 al 9 de octubre de 2025 en Stuttgart, BvL presentará sus sistemas de limpieza y ofrecerá asesoramiento sobre soluciones personalizadas para aplicaciones de Alta Pureza: Hall 10, Stand F10.