Technikumstest potwierdza: System czyszczący od BvL spełnia wymagania wysokiej czystości przemysłu półprzewodnikowego

System mycia zanurzeniowej BvL Atlantic spełnia najwyższe wymagania na poziomie stopnia 1 i stopnia 2 i znajduje zastosowanie w przemyśle dostawczym półprzewodników, przemyśle optycznym oraz w technice precyzyjnej.

W ramach celowych serii testów w Technikum firmy BvL Oberflächentechnik GmbH sprawdzono wydajność czyszczenia zanurzeniowego systemu Atlantic pod kątem wymagań przemysłu dostawców półprzewodników. Celem było uzyskanie czyszczenia cząsteczkowego i molekularnego, co najmniej na poziomie odpowiadającym stopniowi 2, typowemu dla zastosowań w ultrawysokim próżniowym środowisku.

W teście czyszczono elementy o skomplikowanej geometrii z tytanu i aluminium, które między innymi miały kapilary i nacięcia. System Atlantic poradził sobie z tym wyzwaniem z stabilnymi wynikami procesów, będąc połączeniem wydajności, bezpieczeństwa procesu i elastyczności — dokładnie dopasowanym do potrzeb dostawców usług czyszczenia (CSP).

System czyszczący w technikum posiada dziewięć stanowisk procesowych, w tym siedem zbiorników do czyszczenia i dwa do suszenia. Wykorzystuje się m.in. ultradźwiękowe moduły o częstotliwości 40 kHz i 75 kHz, podgrzewanie powietrzem HEPA H13 i suszenie próżniowe, filtrację drobnych cząstek, ciągły monitoring pH i przewodności oraz programowalne przebiegi czyszczenia. Sam proces czyszczenia odbywa się w kąpielach czyszczących z wodą VE — zarówno alkalicznej, jak i kwaśnej. Kolejne etapy płukania są kluczowe dla zastosowań wysokiej czystości. Przeprowadzane są z wodą miejską oraz wodą ultra czystą (Ultra Pure Water / UPW). Używana UPW jest dostarczana przez system uzdatniania wody EnviroFALK. Wyposażony jest on w filtry cząstek, odtłuszczanie, odwróconą osmozę, dezynfekcję UV, wymianę jonową, nano-ultrafiltrację i pomiar TOC. Przy wydajności uzdatniania 300 l/h uzyskuje się znakomite parametry wody:

Przewodność: 0,06 µS/cm
Wartość TOC: 13,58 ppb

Zweryfikowane wyniki w zakresie wysokiej czystości

Przed i po czyszczeniu przeprowadzane są pierwsze wizualne badania w firmowym Dark Room. Za pomocą światła UV i Bright Light sprawdza się elementy pod kątem cząstek i plam. Wyniki są następnie potwierdzane w laboratorium metodą PCM i dokumentują wysoką wydajność systemu Atlantic:

Czystość cząstek (PMC) – cel: stopień 1
≥ 0,5 μm: 650 000 cząstek/m² (limit: 2 000 000)
≥ 5,0 μm: 17 000 cząstek/m² (limit: 20 000)
≥ 10,0 μm: 0 cząstek/m² (limit: 1 000)

Wskaźniki odgazowania przy analizie gazów resztkowych (RGA) – cel: stopień 2
H₂O: 2,71E-4 mbar·l/s
C₂H₄: 2,53E-7 mbar·l/s
C₂H₄ nv: 2,80E-8 mbar·l/s

Pożądane procentowe obciążenia atomowe elementów HIO lub Elemental Surface Contamination mogą być również osiągnięte w procesie czyszczenia.

Wyniki pokazują, że system Atlantic umożliwia powtarzalne czyszczenie dla wrażliwych zastosowań wysokiej czystości — kluczowy aspekt w branżach takich jak technika półprzewodnikowa czy próżniowa.

Nowa metoda w BvL

Dla szczególnie wymagających geometrii elementów BvL oferuje od teraz nową metodę przemysłowego precyzyjnego czyszczenia: technologię impulsów próżniowych (VIT). Innowacyjna metoda zmiany ciśnienia poprawia celowo wymianę mediów i efekt usuwania zanieczyszczeń w trudno dostępnych strukturach. VIT jest uzupełnieniem w wybranych zastosowaniach wysokiej czystości — szczególnie tam, gdzie tradycyjne metody osiągają granice. Metoda ta jest stosowana w systemach czyszczenia koszyków.

Na targach parts2clean od 7 do 9 października 2025 w Stuttgarcie BvL zaprezentuje swoje systemy czyszczące i będzie doradzać m.in. w zakresie indywidualnych rozwiązań dla zastosowań wysokiej czystości: hala 10, stoisko F10.