IMS CHIPS obtient un nouvel écrivain à faisceau d'électrons

IMS CHIPS obtient un nouvel écrivain à faisceau d'électrons

Les spécialistes de la microélectronique à Stuttgart ont besoin de plus d'espace pour de nouveaux équipements de haute technologie. C'est pourquoi, le 15 février, aura lieu la pose de la première pierre pour une extension de la salle blanche à Vaihingen. Chez IMS CHIPS, la salle blanche sera agrandie d'une extension représentant plus de la moitié de la surface actuelle. La raison : des structures toujours plus petites nécessitent des appareils de plus en plus sophistiqués et volumineux. La microélectronique et la nanotechnologie auront besoin à l'avenir d'installations de production capables de créer des structures bien plus fines que 10 000 fois un cheveu humain. IMS CHIPS se prépare à ces exigences en acquérant un écrivain à faisceau d’électrons de dernière génération de la société Vistec Electron Beam GmbH de Jena. Celui-ci permet d'exposer une variété de substrats avec des largeurs de structure minimales de 30 nanomètres tout en assurant un débit très élevé.

Le financement de ce nouvel équipement coûteux n'a été possible que grâce à un partenariat de recherche entre Carl Zeiss SMT GmbH et IMS CHIPS. Le soutien financier a été apporté à la fois par le Land de Bade-Wurtemberg et par Carl Zeiss SMT GmbH. Ainsi, l'infrastructure technologique unique au monde existante chez IMS CHIPS pour la fabrication en série de nanostructures sur des wafers ronds et des substrats de masques rectangulaires sera prête pour la prochaine décennie.

IMS CHIPS soutient principalement les petites et moyennes entreprises dans le développement de systèmes et composants micro-/nanoélectroniques et micro-/nanomécaniques. Par ailleurs, IMS CHIPS et Carl Zeiss SMT GmbH collaborent depuis de nombreuses années dans le domaine des objectifs de scanner hautement complexes, utilisés dans des scanners de wafers. Ces objectifs sont commercialisés par le leader mondial ASML (Pays-Bas), qui entretient un partenariat stratégique avec Carl Zeiss SMT GmbH. Le nouvel écrivain chez IMS CHIPS constitue la base pour poursuivre cette collaboration fructueuse d'une part, et permet d'autre part aux partenaires et clients de PME de continuer à disposer de la technologie de structuration la plus avancée pour leurs développements.

Image : Nanostructures en silicium