IMS CHIPS krijgt een nieuwe elektronenstraal-schrijver

IMS CHIPS krijgt een nieuwe elektronenstraal-schrijver

De micro-elektronicaprofessionals in Stuttgart hebben meer ruimte nodig voor nieuwe hightech-apparatuur. Daarom vindt op 15 februari de eerste schop voor een uitbreiding van de cleanroom in Vaihingen plaats. Bij IMS CHIPS wordt de cleanroom met een aanbouw met meer dan de helft van de huidige oppervlakte vergroot. De reden: steeds kleinere structuren vereisen steeds geavanceerdere en grotere apparaten. De micro-elektronica en nanotechnologie hebben in de toekomst productiemiddelen nodig waarmee structuren kunnen worden gemaakt die meer dan tienduizend keer dunner zijn dan een menselijk haar. IMS CHIPS bereidt zich voor op deze eisen en zal een elektronenstraal- schrijfmachine van de nieuwste generatie van het bedrijf Vistec Electron Beam GmbH uit Jena aanschaffen. Deze maakt het mogelijk om diverse substraten te belichten met minimale structuurbreedtes van 30 nanometer en een zeer hoge doorvoer.

De financiering van deze uitgebreide nieuwe grote investering was alleen mogelijk via een onderzoeksverband tussen Carl Zeiss SMT GmbH en IMS CHIPS. Financiële steun werd zowel verleend door de deelstaat Baden-Württemberg als door Carl Zeiss SMT GmbH. Daarmee wordt de bij IMS CHIPS aanwezige unieke technologische infrastructuur voor de serieproductie van nanostructuren op ronde wafers en rechthoekige maskersubstraten voor het komende decennium klaargemaakt.

IMS CHIPS ondersteunt vooral kleine en middelgrote bedrijven bij de ontwikkeling van micro-/nano-elektronische en micro-/nanomechanische systemen en componenten. Daarnaast werken IMS CHIPS en Carl Zeiss SMT GmbH al vele jaren samen op het gebied van hoogcomplexe scanner-objectieven, die worden gebruikt in waferscanners. Deze worden geleverd door de wereldmarktleider ASML (Nederland), dat in strategisch partnerschap staat met Carl Zeiss SMT GmbH. De nieuwe schrijfmachine bij IMS CHIPS vormt de basis voor het voortzetten van deze succesvolle samenwerking en stelt daarnaast de middelgrote partners en klanten van IMS CHIPS in staat om ook in de toekomst over de meest geavanceerde structuurerstechnologie voor hun ontwikkelingen te beschikken.

Afbeelding: Nanostructuren in silicium