IMS CHIPS új elektronnyaláb-íróval bővíti kínálatát

IMS CHIPS új elektronnyaláb-íróval bővíti kínálatát

A stuttgarti mikroelektronikai szakembereknek több helyre van szükségük az új high-tech berendezések számára. Ezért február 15-én lesz a vájingeni tisztatér bővítésének alapkőletétele. Az IMS CHIPS-nél a tisztatérrel egy bővítéssel több mint a felére növelik a jelenlegi területet. Az ok: egyre kisebb szerkezetek egyre bonyolultabb és nagyobb berendezéseket igényelnek. A mikroelektronika és a nanotechnológia a jövőben olyan gyártóberendezéseket fog igényelni, amelyekkel olyan szerkezetek hozhatók létre, amelyek messze tízezerszer vékonyabbak, mint egy emberi hajszál. Az IMS CHIPS felkészül ezekre az igényekre, és beszerzi a legújabb generációs elektronnyaláb-írót a Jénában működő Vistec Electron Beam GmbH cégtől. Ez lehetővé teszi különböző szubsztrátok expozícióját minimális szerkezetvastagságokkal, 30 nanométeres méretben, magas termelékenységgel.

Ennek a bonyolult, új nagygépes beruházásnak a finanszírozása kizárólag a Carl Zeiss SMT GmbH és az IMS CHIPS közötti kutatási konzorcium révén volt lehetséges. Pénzügyi támogatást nyújtott mind Baden-Württemberg tartomány, mind a Carl Zeiss SMT GmbH. Így az IMS CHIPS-nél meglévő, világszinten egyedülálló technológiai infrastruktúra a sorozatgyártásra készül a nanostruktúrák előállítására kerek és téglalap alakú maszk szubsztrátokon a következő évtizedre.

Az IMS CHIPS elsősorban kis- és közepes vállalkozásokat támogat mikro-/nanoelektronikus és mikro-/nanomechanikus rendszerek és alkatrészek fejlesztésében. Emellett az IMS CHIPS és a Carl Zeiss SMT GmbH már évek óta működnek együtt a rendkívül összetett szkennertárgyak területén, amelyek a wafer szkennerekben kerülnek alkalmazásra. Ezeket az ASML (Hollandia), a világvezető cég forgalmazza, amely stratégiai partnerségben áll a Carl Zeiss SMT GmbH-val. Az IMS CHIPS új írógépe alapot teremt ennek a sikeres együttműködésnek a folytatásához, és lehetővé teszi, hogy az IMS CHIPS középvállalkozói partnerei és ügyfelei továbbra is hozzáférjenek a legfejlettebb szerkezetkészítési technológiákhoz fejlesztéseikhez.

Kép: Nanostruktúrák szilíciumban