IMS CHIPS otrzymuje nowy zapisujący elektronowy promiennik

IMS CHIPS otrzymuje nowy zapisujący elektronowy promień

Specjaliści od mikroelektroniki w Stuttgarcie potrzebują więcej miejsca na nowy sprzęt high-tech. Dlatego 15 lutego odbędzie się wkopanie kamienia węgielnego pod rozbudowę czystej strefy w Vaihingen. W IMS CHIPS czysta strefa zostanie powiększona o ponad połowę dotychczasowej powierzchni dzięki dobudówce. Powód: coraz mniejsze struktury wymagają coraz bardziej zaawansowanych i większych urządzeń. Mikroelektronika i nanotechnologia będą w przyszłości potrzebować linii produkcyjnych, które pozwolą na tworzenie struktur znacznie cieńszych niż włos ludzki, czyli ponad dziesięć tysięcy razy. IMS CHIPS przygotowuje się na te wymagania i zakupi najnowszej generacji zapisarkę wiązką elektronów firmy Vistec Electron Beam GmbH z Jeny. Umożliwi ona naświetlanie różnorodnych podłoży z minimalną szerokością struktur wynoszącą 30 nanometrów przy bardzo wysokiej wydajności.

Finansowanie tego zaawansowanego, nowego dużego projektu było możliwe jedynie dzięki konsorcjum badawczemu między Carl Zeiss SMT GmbH a IMS CHIPS. Wsparcie finansowe zapewniły zarówno land Badenia-Wirtembergia, jak i Carl Zeiss SMT GmbH. Dzięki temu światowa unikalna infrastruktura technologiczna dostępna w IMS CHIPS do seryjnej produkcji nanostruktur na okrągłych podłożach wafer i prostokątnych maskach będzie przygotowana na nadchodzącą dekadę.

IMS CHIPS wspiera głównie małe i średnie przedsiębiorstwa w rozwoju mikro-/nanoelektronicznych i mikro-/nanomechanicznych systemów i komponentów. Ponadto IMS CHIPS i Carl Zeiss SMT GmbH od wielu lat współpracują w dziedzinie wysoce skomplikowanych obiektywów skanerowych, które są wykorzystywane w skanerach waflowych. Sprzedaje je światowy lider rynku ASML (Holandia), który jest strategicznym partnerem Carl Zeiss SMT GmbH. Nowa zapisarka w IMS CHIPS stanowi podstawę do kontynuacji tej udanej współpracy z jednej strony, a z drugiej umożliwia, aby średniej wielkości partnerzy i klienci IMS CHIPS nadal mieli dostęp do najnowocześniejszej technologii strukturyzacji dla swoich projektów.

Obraz: Nanostruktury w krzemie