IMS CHIPS dostává nový elektronový paprsek zapisovače

IMS CHIPS dostává nový zapisovač elektronového paprsku

Specialisté na mikroelektroniku v Stuttgartu potřebují více prostoru pro nové high-tech vybavení. Proto bude 15. února zahájení výstavby rozšíření čisté místnosti ve Vaihingen. U IMS CHIPS bude čistá místnost rozšířena přístavbou o více než polovinu dosavadní plochy. Důvodem je, že stále menší struktury vyžadují stále složitější a větší zařízení. Mikroelektronika a nanotechnologie budou v budoucnu potřebovat výrobní zařízení, která dokážou vytvářet struktury, jež jsou mnohem tenčí než lidský vlas, přesněji více než deset tisíckrát tenčí. IMS CHIPS se připravuje na tyto požadavky a zakoupí elektronový paprskový zapisovač nejnovější generace od firmy Vistec Electron Beam GmbH z Jeny. Tento umožní expozici různorodých substrátů s minimálními strukturálními rozměry 30 nanometrů při velmi vysoké produktivitě.

Financování tohoto náročného nového zařízení bylo možné pouze díky výzkumnému sdružení mezi firmami Carl Zeiss SMT GmbH a IMS CHIPS. Finanční podporu poskytly jak spolková země Bádensko-Württembersko, tak firma Carl Zeiss SMT GmbH. Díky tomu bude existující světově unikátní technologická infrastruktura IMS CHIPS pro sériovou výrobu nanostruktur na kulatých waferových a obdélníkových maskovacích substrátech připravena na nadcházející dekádu.

IMS CHIPS především podporuje malé a střední podniky při vývoji mikro-/nanoelektronických a mikro-/nanomechanických systémů a komponent. Dále spolupracují IMS CHIPS a Carl Zeiss SMT GmbH již mnoho let v oblasti vysoce složitých skenovacích objektivů, které se používají v waferových skenerech. Tyto produkty dodává světový lídr ASML (Nizozemsko), který je ve strategickém partnerství s Carl Zeiss SMT GmbH. Nový zapisovač v IMS CHIPS tvoří základ pro pokračování této úspěšné spolupráce na jedné straně a na druhé straně umožňuje středně velkým partnerům a zákazníkům IMS CHIPS i nadále využívat nejpokročilejší technologii strukturování pro jejich vývoj.

Obrázek: Nanostruktury v křemíku