IMS CHIPS obtiene un nuevo grabador de haces de electrones

IMS CHIPS recibe un nuevo grabador de haces de electrones

Los especialistas en microelectrónica en Stuttgart necesitan más espacio para nuevos equipos de alta tecnología. Por ello, el 15 de febrero se llevará a cabo la colocación de la primera piedra para una ampliación de la sala limpia en Vaihingen. En IMS CHIPS, la sala limpia se ampliará en más de la mitad de su superficie actual mediante una extensión. La razón: estructuras cada vez más pequeñas requieren equipos más sofisticados y de mayor tamaño. La microelectrónica y la nanotecnología necesitarán en el futuro instalaciones de producción con las que se puedan crear estructuras mucho más delgadas que un cabello humano, que supera las diez mil veces su grosor. IMS CHIPS se está preparando para estos requisitos y adquirirá un grabador de haz de electrones de última generación de la empresa Vistec Electron Beam GmbH de Jena. Esto permitirá la exposición de sustratos diversos con anchuras de estructura mínimas de 30 nanómetros y un alto rendimiento.

La financiación de este nuevo y avanzado equipo de gran tamaño solo fue posible a través de una colaboración de investigación entre Carl Zeiss SMT GmbH e IMS CHIPS. La ayuda financiera fue proporcionada tanto por el estado de Baden-Württemberg como por Carl Zeiss SMT GmbH. Con ello, la infraestructura tecnológica única en el mundo que IMS CHIPS posee para la fabricación en serie de nanoestructuras en sustratos de obleas redondas y máscaras rectangulares estará preparada para la próxima década.

IMS CHIPS apoya principalmente a pequeñas y medianas empresas en el desarrollo de sistemas y componentes micro-/nanoelectrónicos y micro-/nanomecánicos. Además, IMS CHIPS y Carl Zeiss SMT GmbH colaboran desde hace muchos años en el campo de objetivos de escáner altamente complejos, que se utilizan en escáneres de oblejas. Estos son comercializados por el líder mundial ASML (Países Bajos), que mantiene una asociación estratégica con Carl Zeiss SMT GmbH. La nueva grabadora en IMS CHIPS sienta las bases para continuar esta exitosa colaboración y, por otro lado, permite que los socios y clientes medianos de IMS CHIPS sigan teniendo acceso a la tecnología de estructuración más avanzada para sus desarrollos.

Imagen: Nanoestructuras en silicio