GEMÜ développe une nouvelle vanne de régulation actionnée électromécaniquement

Vanne à diaphragme motorisée GEMÜ C53 iComLine pour processus ultra purs. / The GEMÜ C53 iComLine motorized diaphragm globe valve for ultra pure processes.

L'industrie des semi-conducteurs impose des exigences élevées en matière de techniques de vanne, de mesure et de régulation. De plus en plus, les vannes pneumatiques ne suffisent plus pour répondre aux exigences de régulation des principaux fabricants d'équipements de processus. C'est pourquoi le spécialiste des vannes GEMÜ a développé la vanne de régulation électromécanique GEMÜ C53 iComLine.

La vanne à membrane 2/2 voies GEMÜ C53 iComLine a été conçue pour des applications de régulation précises et exigeantes dans la fabrication de semi-conducteurs. Le principe d'étanchéité de la vanne repose sur la technologie éprouvée GEMÜ PD, dans laquelle l'actionneur et le médium sont séparés par un cône de régulation conique en PTFE durable. Comme la forme du cône de régulation, la course de l'actionneur et les dimensions de raccordement peuvent être adaptées aux besoins spécifiques, la GEMÜ C53 iComLine répond à presque toutes les exigences de régulation et de débit de l'industrie des semi-conducteurs de haute technologie. En combinant un moteur pas à pas précis avec des matériaux de corps très purs, la vanne est particulièrement adaptée aux processus de lithographie, CMP et gravure, ainsi qu'aux applications en analytique dans toute fabrication de semi-conducteurs.

La vanne à membrane GEMÜ C53 iComLine ne peut pas seulement être installée comme une simple vanne de passage. Une intégration dans un M-Bloc GEMÜ PC50 iComLine est également possible pour réaliser des schémas de flux complexes dans un espace minimal. Lors du traitement des wafers de silicium, un bloc de vannes à plusieurs voies peut, par exemple, être utilisé dans un FOUP-Cleaner pour le contrôle de la température de l'eau DI. À cet effet, des clapets anti-retour et des capteurs peuvent être intégrés dans le M-Bloc GEMÜ PC50 iComLine.