GEMÜ vyvíjí nové elektromotoricky ovládané regulační ventily

Elektromotoricky ovládaný membránový uzávěr GEMÜ C53 iComLine pro vysoce čisté procesy. / The GEMÜ C53 iComLine motorized diaphragm globe valve for ultra pure processes.

Polovodičový průmysl klade vysoké nároky na ventily, měřicí a řídicí techniku. Postupně nestačí pneumaticky ovládané ventily k splnění řídicích požadavků předních výrobců procesního zařízení. Z tohoto důvodu vyvinul specialista na ventily GEMÜ elektromotoricky ovládaný regulační ventil GEMÜ C53 iComLine.

Membránový dvousměrný regulační ventil GEMÜ C53 iComLine byl navržen pro přesné a náročné regulační aplikace ve výrobě polovodičů. Těsnicí princip ventilu vychází z osvědčené technologie GEMÜ PD, při níž je pohon a médium odděleny kuželovým regulačním kuželem vyrobeným z odolného PTFE. Protože tvar regulačního kužele, zdvih pohonu a připojovací velikosti lze přizpůsobit zákazníkovi, splňuje GEMÜ C53 iComLine téměř všechny požadavky na regulaci a průtok v pokročilém polovodičovém průmyslu. Díky kombinaci přesného krokového motoru s vysoce čistými materiály tělesa je ventil zvláště vhodný pro litografii, CMP a etchovací procesy, stejně jako pro analytické aplikace v každé výrobě polovodičů.

Membránový dvousměrný regulační ventil GEMÜ C53 iComLine lze nejen použít jako jednoduchý průchodový ventil. Je také možná integrace do M-bloku GEMÜ PC50 iComLine, což umožňuje realizaci složitých schémat na minimálním prostoru. Při zpracování křemíkových waferů může například vícecestný ventilový blok sloužit v čišťárně FOUP k řízení teploty DI vody. K tomu lze do M-bloku GEMÜ PC50 iComLine integrovat zpětné ventily a senzory.