GEMÜ új elektromotoros működtetésű szabályozó szelepet fejlesztett ki

Elektromotoros működtetésű membránülős szelep GEMÜ C53 iComLine a magas tisztaságú folyamatokhoz. / A GEMÜ C53 iComLine elektromotoros membránülős gömbszelep az ultra tiszta folyamatokhoz.

A félvezetőipar magas követelményeket támaszt a szelep-, mérő- és szabályozástechnika terén. Egyre inkább nem elegendőek a pneumatikusan működtetett szelepek ahhoz, hogy megfeleljenek a vezető gyártók folyamatberendezéseinek szabályozási igényeinek. Ezért fejlesztette ki a GEMÜ szelep szakértő az elektromotorosan működtetett szabályozószelepet GEMÜ C53 iComLine-t.

A 2/2-utas membránszelep GEMÜ C53 iComLine-t pontos és igényes szabályozási alkalmazásokhoz a félvezetőgyártásban tervezték. A szelep tömítési elve a bevált GEMÜ PD-technológián alapul, amelyben a hajtás és a közeg egy kúpszerű szabályozó kúppal vannak elválasztva, amely tartós PTFE-ből készült. Mivel a szabályozó kúppal, a hajtás útján és a csatlakozási méreteken ügyfélspecifikusan lehet változtatni, a GEMÜ C53 iComLine szinte minden szabályozási és áramlási követelménynek megfelel a magas technológiai szintű félvezetőiparban. A pontos léptetőmotor és a magas tisztaságú testanyagok kombinációjának köszönhetően a szelep különösen alkalmas litográfiás, CMP- és marási folyamatokhoz, valamint analitikai alkalmazásokhoz minden félvezetőgyártásban.

A membránszelep GEMÜ C53 iComLine nemcsak egyszerű átfolyószelepként használható. Beépíthető egy GEMÜ PC50 iComLine M-blokkba is, hogy komplex folyamatábrákat valósítson meg minimális helyen. Például a szilíciumlapkák feldolgozásakor egy többutas szelep blokk alkalmazható FOUP-tisztítókban a DI-víz hőmérséklet-szabályozására. Ehhez a GEMÜ PC50 iComLine M-blokkba visszacsapó szelepeket és érzékelőket lehet integrálni.