GEMÜ sviluppa una nuova valvola di regolazione azionata elettricamente

Valvola a globo a membrana motorizzata GEMÙ C53 iComLine per processi ad altissima purezza. / The GEMÙ C53 iComLine motorized diaphragm globe valve for ultra pure processes.

L'industria dei semiconduttori pone elevate esigenze alla tecnologia di valvole, misurazione e controllo. Sempre più spesso, le valvole azionate pneumaticamente non sono più sufficienti per soddisfare i requisiti di regolazione dei principali produttori di apparecchiature di processo. Per questo motivo, il specialista di valvole GEMÜ ha sviluppato la valvola di regolazione elettromotorizzata GEMÜ C53 iComLine.

La valvola a membrana a 2/2 vie GEMÜ C53 iComLine è stata progettata per applicazioni di regolazione precise e complesse nella produzione di semiconduttori. Il principio di tenuta della valvola si basa sulla comprovata tecnologia GEMÜ PD, in cui azionamento e mezzo sono separati da un cono di regolazione in PTFE resistente. Poiché la forma del cono di regolazione, la corsa dell'azionamento e le dimensioni delle connessioni possono essere personalizzate, GEMÜ C53 iComLine soddisfa quasi tutti i requisiti di regolazione e flusso dell'industria dei semiconduttori ad alta tecnologia. Grazie alla combinazione del motore passo-passo di precisione con materiali di alta purezza, la valvola è particolarmente adatta per processi di litografia, CMP e incisione, nonché per applicazioni nel settore analitico in ogni produzione di semiconduttori.

La valvola a membrana GEMÜ C53 iComLine può essere installata non solo come semplice valvola di passaggio. È anche possibile integrarla in un blocco M GEMÜ PC50 iComLine per realizzare schemi di flusso complessi in uno spazio minimo. Durante la lavorazione di wafer di silicio, un blocco valvola multi- percorso può essere utilizzato, ad esempio, in un FOUP-Cleaner per il controllo della temperatura dell'acqua DI. A tal fine, possono essere integrati nel blocco GEMÜ PC50 iComLine valvole di ritegno e sensori.