GEMÜ rozwija nową regulacyjną zawór napędzaną silnikiem elektrycznym

Elektromotorisch betätigtes Membransitzventil GEMÜ C53 iComLine für hochreine Prozesse. / The GEMÜ C53 iComLine motorized diaphragm globe valve for ultra pure processes.

Przemysł półprzewodników stawia wysokie wymagania wobec technologii zaworów, pomiarów i regulacji. Coraz częściej zawory pneumatyczne nie wystarczają, aby spełnić wymagania regulacyjne czołowych producentów sprzętu procesowego. Z tego powodu specjalista od zaworów GEMÜ opracował elektromotorycznie sterowane zawory regulacyjne GEMÜ C53 iComLine.

Zawór membranowy 2/2-drożny GEMÜ C53 iComLine został zaprojektowany do precyzyjnych i wymagających zastosowań regulacyjnych w produkcji półprzewodników. Zasada uszczelniania zaworu opiera się na sprawdzonej technologii GEMÜ PD, w której napęd i medium są oddzielone konusowym zaworem regulacyjnym wykonanym z trwałego PTFE. Ponieważ kontur zaworu regulacyjnego, skok napędu i rozmiary przyłączy mogą być dostosowane do potrzeb klienta, GEMÜ C53 iComLine spełnia niemal wszystkie wymagania dotyczące regulacji i przepływu w zaawansowanej technologicznie branży półprzewodników. Dzięki połączeniu precyzyjnego silnika krokowego z wysokiej jakości materiałami korpusu, zawór ten jest szczególnie odpowiedni do procesów litograficznych, CMP, i etching, a także do zastosowań analitycznych w każdej produkcji półprzewodników.

Zawór membranowy GEMÜ C53 iComLine może być nie tylko instalowany jako prosty zawór przepływowy. Możliwa jest również integracja z blokiem M-GEMÜ PC50 iComLine, co pozwala na realizację skomplikowanych schematów przepływu na minimalnej przestrzeni. Przy obróbce wafli krzemowych, wielodrogowy blok zaworów może być na przykład używany w FOUP-Cleaner do regulacji temperatury DI-wody. Do tego można zintegrować w bloku M-GEMÜ PC50 iComLine zawory zwrotne i czujniki.