GEMÜ desarrolla una nueva válvula de control accionada eléctricamente

Válvula de diafragma de globo motorizada GEMÜ C53 iComLine para procesos de ultra pureza. / The GEMÜ C53 iComLine motorized diaphragm globe valve for ultra pure processes.

La industria de semiconductores impone altas demandas a la tecnología de válvulas, medición y control. Cada vez más, las válvulas accionadas neumáticamente ya no son suficientes para cumplir con los requisitos de regulación de los principales fabricantes de equipos de proceso. Por esta razón, el especialista en válvulas GEMÜ ha desarrollado la válvula reguladora electromotriz GEMÜ C53 iComLine.

La válvula de membrana de 2/2 vías GEMÜ C53 iComLine ha sido diseñada para aplicaciones de regulación precisas y exigentes en la fabricación de semiconductores. El principio de estanqueidad de la válvula se basa en la probada tecnología GEMÜ PD, en la que el accionamiento y el medio están separados por un cono regulador de PTFE resistente. Como la forma del cono regulador, el recorrido del accionamiento y los tamaños de conexión pueden adaptarse a medida, la GEMÜ C53 iComLine cumple casi con todos los requisitos de regulación y flujo en la industria de semiconductores de alta tecnología. Gracias a la combinación del motor paso a paso de precisión con materiales de cuerpo de alta pureza, la válvula es especialmente adecuada para procesos de litografía, CMP y grabado, así como para aplicaciones en el área analítica en cualquier fabricación de semiconductores.

La válvula de membrana GEMÜ C53 iComLine no solo puede instalarse como una válvula de paso simple. También es posible integrarla en un bloque M-GEMÜ PC50 iComLine para realizar esquemas de flujo complejos en un espacio mínimo. En el procesamiento de obleas de silicio, un bloque de válvulas de múltiples vías, por ejemplo, puede utilizarse en un limpiador FOUP para el control de temperatura del agua DI. Para ello, en el bloque M-GEMÜ PC50 iComLine se pueden integrar válvulas antirretorno y sensores.