GEMÜ ontwikkelt nieuw elektromotorisch aangedreven regelventiel

Elektromotorisch betätigtes Membransitzventil GEMÜ C53 iComLine für hochreine Prozesse. / Het GEMÜ C53 iComLine elektromotorisch bediende membraan-ventiel voor ultra-pure processen.

De halfgeleiderindustrie stelt hoge eisen aan de ventiel-, meet- en regeltechniek. Steeds vaker voldoen pneumatisch bediende ventielen niet meer om de regelvereisten van toonaangevende fabrikanten van procesequipment te vervullen. Om die reden heeft de ventielspecialist GEMÜ het elektromotorisch bediende regelventiel GEMÜ C53 iComLine ontwikkeld.

Het 2/2-weg membraanzitventiel GEMÜ C53 iComLine is ontwikkeld voor nauwkeurige en veeleisende regeltoepassingen in de halfgeleiderproductie. Het afdichtingsprincipe van het ventiel is gebaseerd op de beproefde GEMÜ PD-technologie, waarbij aandrijving en medium gescheiden worden door een conusvormige regelkegel van duurzaam PTFE. Omdat de regelkegelcontour, de aandrijfslag en de aansluitgroottes op maat kunnen worden gemaakt, voldoet GEMÜ C53 iComLine aan bijna alle regel- en doorlaatvereisten van de hoogtechnologische halfgeleiderindustrie. Door de combinatie van de nauwkeurige stappenmotor met hoogzuivere bodymaterialen is het ventiel vooral geschikt voor lithografie-, CMP- en etspogingen, evenals voor analytische toepassingen in elke halfgeleiderproductie.

Het membraanzitventiel GEMÜ C53 iComLine kan niet alleen worden gebruikt als eenvoudig doorvoerventiel. Een integratie in een M-Block GEMÜ PC50 iComLine is eveneens mogelijk om complexe stromingsschema's op minimale ruimte te realiseren. Bij de verwerking van siliciumwafers kan bijvoorbeeld een meerwegventielblok worden ingezet in FOUP-cleaners voor de temperatuurregeling van DI-water. Daartoe kunnen terugslagkleppen en sensoren worden geïntegreerd in het M-Block GEMÜ PC50 iComLine.