De pionnier en matière de filtres AMC régénératifs

De pionnier en matière de filtres AMC régénératifs

Matériaux de filtration à haute efficacité pour une filtration d'air extérieur, de recirculation et de processus rentable

La problématique :
Un défi particulier dans la fabrication de semi-conducteurs avec de faibles largeurs de structure concerne les substances gazeuses transportées par l'air, qui peuvent provoquer des réactions chimiques indésirables à la surface des wafers et sur les équipements de processus. Ces réactions chimiques des acides, bases, organiques et dopants présents dans l'air de processus sont connues sous le nom de AMC (Contamination Moléculaire Aérienne). Leur contrôle implique l'investissement dans des filtres AMC, mais avec une durée de performance limitée. Ici, il faut des solutions non seulement très efficaces, mais aussi régénérables et rentables.

La solution :
Filtres AMC à haute efficacité. M+W Zander Products propose, en tant que l'un des principaux fournisseurs, une gamme variée de produits et de services dans le domaine AMC. Pour réduire les contaminants gazeux, différents médias de filtration sont utilisés, allant des matériaux à base de charbon actif jusqu'à des supports échangeurs d'ions à haute efficacité, spécialement développés pour l'industrie des semi-conducteurs. M+W Zander Products occupe une position de leader mondial dans ce domaine et dispose de matériaux d'échangeurs d'ions à structure fibreuse uniques, pouvant être utilisés pour éliminer à la fois les contaminants acides et basiques. Tous les filtres peuvent être fabriqués pour une utilisation dans des appareils d'air extérieur et de recirculation (forme de cellules V), ainsi que comme filtres de protection pour outils et processus (forme plate).

Filtres régénérables rentables.
Contrairement aux filtres HEPA utilisés jusqu'à présent dans les salles blanches pour la capture de particules, les filtres AMC ont une capacité de filtration limitée et doivent être remplacés après environ 1 à 3 ans de fonctionnement. Cela entraîne des coûts d'exploitation élevés ainsi qu'une grande quantité de déchets. La réduction des déchets a été un argument décisif pour le développement de produits filtrants régénérables, basés sur des matériaux à base de charbon actif ainsi que sur des échangeurs d'ions. Grâce à leur réutilisation multiple, les coûts d'exploitation ainsi que la quantité de déchets sont considérablement réduits.