Van de pionier op het gebied van regeneratieve AMC-filters

Van de pionier op het gebied van regeneratieve AMC-filters

Hochwaardige filtermaterialen voor kostenefficiënte buitenlucht-
-omluft- en procesluchtfiltratie

De probleemstelling:
Een bijzondere uitdaging in de halfgeleiderfabricage met kleine structuurbreedtes zijn luchtgedragen, gasvormige stoffen die ongewenste chemische reacties op het waferoppervlak en in procesapparatuur kunnen veroorzaken. Deze chemische reactie van de in de proceslucht aanwezige zuren, basen, organische stoffen en dopants staat bekend onder de naam AMC (Airborne Molecular Contamination). Het beheersen hiervan betekent investeren in AMC-filters met echter een beperkte prestatieperiode. Hier zijn niet alleen hoogwaardig, maar ook regeneratieve, kostenefficiënte oplossingen vereist.

De oplossing:
Hoogwaardige AMC-filters. M+W Zander Products biedt als een van de toonaangevende leveranciers een breed scala aan producten en diensten op het gebied van AMC. Voor het verminderen van gasvormige contaminanten worden diverse filtermedia ingezet, van actieve koolstofmaterialen tot het speciaal voor de halfgeleiderindustrie ontwikkelde hoogwaardig vezelvormig ionenuitwissermateriaal. Hier heeft M+W Zander Products een wereldleidende positie en beschikt over unieke vezelvormige ionenuitwissermaterialen, die zowel voor het afvangen van zure als basische contaminanten kunnen worden gebruikt. Alle filters kunnen worden vervaardigd voor gebruik in buiten- en omgevingsluchtapparatuur (V-cel bouwvorm) en als tool- en procesbeschermingsfilters (platte bouwvorm).

Kostenefficiënte regeneratieve filters.
In tegenstelling tot de in cleanrooms gebruikte HEPA-filters voor deeltjesafscheiding, hebben AMC-filters een beperkte afvangcapaciteit en moeten na ongeveer 1-3 jaar bedrijfsduur worden vervangen door nieuwe filters. Dit veroorzaakt zowel hoge bedrijfskosten als grote hoeveelheden afval. De afvalreductie was een doorslaggevend argument voor de ontwikkeling van regeneratieve filterproducten, gebaseerd op actieve koolstofmaterialen en ionenwisselaars. Door herhaald gebruik worden enerzijds de bedrijfskosten en anderzijds de afvalhoeveelheden aanzienlijk verminderd.