Dalla pioniera nel settore dei filtri AMC rigenerativi

Dalla pioniera nel campo dei filtri AMC rigenerativi

Materiali filtranti ad alta efficacia per filtrazioni di aria esterna, ricircolo e processo a costi contenuti

La problematica:
Una sfida particolare nella produzione di semiconduttori con larghezze di struttura ridotte sono le sostanze gassose trasportate dall'aria, che possono innescare reazioni chimiche indesiderate sulla superficie dei wafer e sulle apparecchiature di processo. Queste reazioni chimiche delle acidi, basi, organici e dopanti presenti nell'aria di processo sono note come AMC (Contaminazione Molecolare Aerotrasportata). Il loro controllo implica l'investimento in filtri AMC con una durata di prestazione limitata. Qui sono richieste soluzioni non solo altamente efficaci, ma anche rigenerabili e a basso costo.

La soluzione:
Filtri AMC ad alta efficacia. M+W Zander Products, come uno dei principali fornitori, offre una vasta gamma di prodotti e servizi nel settore AMC. Per ridurre i contaminanti gassosi vengono impiegati vari materiali filtranti, dai materiali a base di carbone attivo fino al materiale a scambio ionico in fibra, sviluppato appositamente per l'industria dei semiconduttori. In questo campo, M+W Zander Products occupa una posizione di leadership mondiale e dispone di materiali a scambio ionico in fibra unici, che possono essere utilizzati sia per la cattura di contaminanti acidi sia basici. Tutti i filtri possono essere prodotti per applicazioni in apparecchiature di aria esterna e ricircolata (configurazione V-cell), nonché come filtri di protezione per strumenti e processi (configurazione piatta).

Filtri rigenerabili a basso costo.
Contrariamente ai filtri HEPA attualmente usati nelle camere bianche per la rimozione delle particelle, i filtri AMC hanno una capacità di cattura limitata e devono essere sostituiti dopo circa 1-3 anni di funzionamento. Ciò comporta elevati costi operativi e grandi quantità di rifiuti. La riduzione dei rifiuti è stato un argomento chiave nello sviluppo di prodotti filtranti rigenerabili, basati su materiali a carbone attivo e su scambiatori di ioni. Con un uso ripetuto, si riducono significativamente sia i costi operativi sia i volumi di rifiuti.