Z průkopníka v oblasti regenerativních filtrů AMC

Z průkopníka v oblasti regenerativních filtrů AMC

Vysoce účinné filtrační materiály pro nákladově efektivní filtraci venkovního vzduchu
Oběhového vzduchu a procesního vzduchu

Problém:
Speciální výzvou při výrobě polovodičů s malými strukturálními rozměry jsou vzduchem přenášené, plynové látky, které mohou vyvolat nežádoucí chemické reakce na povrchu waferu a ve výrobních zařízeních. Tato chemická reakce kyselin, zásad, organických látek a dopantů obsažených v procesním vzduchu je známá pod označením AMC (Airborne Molecular Contamination). Jejich kontrola znamená investici do filtrů AMC s omezenou dobou účinnosti. Zde jsou požadována nejen vysoce účinná, ale také regenerovatelná a nákladově efektivní řešení.

Řešení:
Vysoce účinné filtry AMC. Společnost M+W Zander Products nabízí jako jeden z předních dodavatelů širokou škálu produktů a služeb v oblasti AMC. Ke snížení plynových kontaminantů se používají různé filtrační média, od aktivních uhlíkových materiálů po speciálně vyvinuté vysoce účinné vláknové iontové výměníkové médium určené pro polovodičový průmysl. Společnost M+W Zander Products zde zaujímá přední postavení na celosvětové úrovni a disponuje jedinečnými vláknovými iontovými výměníkovými materiály, které lze použít jak k zachycení kyselých, tak zásaditých kontaminantů. Všechny filtry lze vyrábět pro použití v exteriérových a recirkulačních zařízeních (konstrukce V-buňky) i jako filtry pro ochranu nástrojů a procesů (plochá konstrukce).

Nákladově efektivní regenerovatelné filtry.
Na rozdíl od dosud používaných HEPA filtrů v čistírnách, které zachycují částice, mají filtry AMC omezenou kapacitu zachycení a musí být po přibližně 1–3 letech provozu nahrazeny novými filtry. To způsobuje nejen vysoké provozní náklady, ale také velké množství odpadu. Snížení odpadu bylo klíčovým argumentem pro vývoj regenerovatelných filtračních produktů založených na aktivním uhlí a iontových výměnících. Opakovaným použitím se nejen výrazně snižují provozní náklady, ale také množství odpadu.