- Traducido con IA
De pionero en filtros AMC regenerativos
De pionero en filtros AMC regenerativos
Materiales de filtración altamente eficaces para filtraciones de aire exterior, circulación de aire y procesos
El problema:
Un desafío particular en la fabricación de semiconductores con anchuras de estructura reducidas son las sustancias gaseosas transportadas por el aire, que pueden desencadenar reacciones químicas no deseadas en la superficie de los obleas y en los equipos del proceso. Estas reacciones químicas de los ácidos, bases, compuestos orgánicos y dopantes presentes en el aire de proceso son conocidas como AMC (Contaminación Molecular Transportada por el Aire). Su control implica la inversión en filtros AMC con una duración de rendimiento limitada. Aquí se requieren soluciones no solo altamente eficaces, sino también regenerables y rentables.
La solución:
Filtros AMC altamente eficaces. M+W Zander Products, como uno de los principales proveedores, ofrece una variedad de productos y servicios en el área de AMC. Para reducir los contaminantes gaseosos, se emplean diversos medios de filtración, desde materiales de carbón activado hasta medios de intercambio iónico en forma de fibras, desarrollados específicamente para la industria de semiconductores. Aquí, M+W Zander Products ocupa una posición líder mundial y dispone de materiales de intercambio iónico en forma de fibras únicos, que pueden utilizarse tanto para la captura de contaminantes ácidos como básicos. Todos los filtros pueden fabricarse para su uso en equipos de aire exterior y circulación (configuración en V) así como como filtros de protección de herramientas y procesos (diseño plano).
Filtros regenerables rentables.
A diferencia de los filtros HEPA utilizados anteriormente en salas limpias para la captura de partículas, los filtros AMC tienen una capacidad de captura limitada y, por lo tanto, deben ser reemplazados por nuevos filtros aproximadamente cada 1-3 años de operación. Esto genera costos operativos elevados y grandes cantidades de residuos. La reducción de residuos fue un argumento decisivo para el desarrollo de productos de filtros regenerables, basados en materiales de carbón activado y en intercambiadores iónicos. Con su reutilización múltiple, se reducen significativamente tanto los costos operativos como la cantidad de residuos.
