Az úttörő a regeneratív AMC-szűrők terén

Az úttörő a regeneratív AMC-szűrők terén

Hatékony szűrőanyagok költséghatékony külső levegő-
keringtető és folyamatlevegő szűrésekhez

A problémakör:
A félvezetőgyártásban, ahol a szerkezeti szélességek kicsik, külön kihívást jelent a levegőben szállított, gáznemű anyagok jelenléte, amelyek nem kívánt kémiai reakciókat válthatnak ki a wafer felületén és a folyamatberendezéseken. Ezek a folyamatlevegőben lévő savak, bázisok, szerves anyagok és dopaminok kémiai reakciói az AMC (Airborne Molecular Contamination) néven ismertek. Ezek ellenőrzése az AMC-szűrőkbe való beruházást jelenti, amelyek azonban korlátozott hatékonysági idővel rendelkeznek. Itt nemcsak magas hatékonyságú, hanem regenerálható, költséghatékony megoldásokra van szükség.

A megoldás:
Magas hatékonyságú AMC-szűrők. A M+W Zander Products, mint az egyik vezető szolgáltató, számos terméket és szolgáltatást kínál az AMC területén. A gáznemű szennyező anyagok csökkentése érdekében különféle szűrőanyagokat alkalmaznak, az aktívszén anyagoktól kezdve a félvezetőipar számára kifejlesztett, magas hatékonyságú szálas ioncserélő anyagokig. A M+W Zander Products világszerte vezető szerepet tölt be, és egyedi szálas ioncserélő anyagokkal rendelkezik, amelyek savas és bázikus szennyező anyagok leválasztására egyaránt alkalmasak. Minden szűrő gyártható külső és szellőző berendezésekhez (V-alkatrész kialakítás), valamint eszköz- és folyamatvédő szűrőként (lapos kialakítás).

Költséghatékony regenerálható szűrők.
Az eddig tisztaterekben alkalmazott HEPA-szűrőkkel ellentétben az AMC-szűrők korlátozott leválasztási kapacitással rendelkeznek, ezért kb. 1-3 év működés után új szűrőkre kell cserélni őket. Ez magas működési költségeket és nagy mennyiségű hulladékot eredményez. A hulladék csökkentése érdekében döntő érv volt a regenerálható szűrőtermékek fejlesztése, amelyek aktívszén anyagokon és ioncserélőkön alapulnak. Többszöri felhasználásukkal jelentősen csökkenthetők a működési költségek és a hulladék mennyisége is.