Conservation des wafers par purge à l'azote

Schiller PurgingBay (Bild : Schiller Automatisierungstechnik GmbH) / Schiller PurgingBay (Image : Schiller Automatisierungstechnik GmbH)

Schiller PurgingBay (Bild : Schiller Automatisierungstechnik GmbH) / Schiller PurgingBay (Photo : Schiller Automatisierungstechnik GmbH)

Une grande partie de notre air, que nous respirons quotidiennement, est composée d'azote (N2). Alors que le corps humain n'utilise cependant que l'oxygène de l'air, l'azote revêt une importance essentielle pour certains secteurs industriels.

Contrairement à l'oxygène, l'azote est un gaz très inerte avec une faible humidité, ce qui le rend idéal pour le stockage de biens sensibles, par exemple dans l'industrie électronique et des semi-conducteurs. Grâce à l'humidité contenue dans l'air, mais aussi à l'oxygène, des dommages peuvent survenir, par exemple, sur des wafers de silicium. C'est pourquoi, là-bas, une atmosphère pauvre en oxygène est créée à l'aide d'azote, empêchant ainsi une oxydation lente sous forme de corrosion.

La société Schiller propose avec sa Purging Bay une solution pour la conservation des wafers pendant le stockage. Chaque emplacement du stocker (stockage en salle blanche) peut être équipé de cette station de stockage à double profondeur. Sur la Purging Bay, deux cassettes FOUP (conteneurs pour wafers) peuvent être stockées l'une derrière l'autre et purgées avec de l'azote. La Purging Bay a été conçue et construite par Schiller et peut être utilisée dans le Stocker Linéaire Schiller ou Max Stocker.

Sur la Schiller Purging Bay, toutes les cassettes FOUP de 300 mm de fabricants connus, équipées d'une valve d'entrée et de sortie en dessous, peuvent être stockées. Un couplage cinématique ainsi qu’un capteur de placement en haut de la construction assurent un positionnement précis des cassettes.

Tous les composants de la Purging Bay, tels que les valves d'entrée et de sortie, les éléments filtrants et les composants électroniques, sont placés de manière compacte en bas de la construction. Cela permet une faible hauteur de construction de seulement 50 mm. Selon les besoins, le temps de purge et l'intervalle de purge peuvent être définis de manière personnalisée via le logiciel de gestion de stockage SWarePro de Schiller.

La Purging Bay est déjà utilisée dans divers projets avec plusieurs milliers d'emplacements. Chaque bay est soumise, avant livraison — dans la salle blanche interne de Schiller — à un test complet de fonctionnement des composants mécaniques et électriques.