Szilárd lapok konzerválása N2-áramlással

Schiller PurgingBay (Kép: Schiller Automatisierungstechnik GmbH) / Schiller PurgingBay (Kép: Schiller Automatisierungstechnik GmbH)

Schiller PurgingBay (Kép: Schiller Automatisierungstechnik GmbH) / Schiller PurgingBay (Kép: Schiller Automatisierungstechnik GmbH)

Az általunk naponta belélegzett levegő nagy része nitrogénből (N2) áll. Míg az emberi test azonban csak a levegő oxigénjét használja, a nitrogén néhány iparág számára alapvető jelentőséggel bír.

Az oxigénnel ellentétben a nitrogén egy nagyon reakcióképtelen gáz, kevés nedvességgel, ezért ideális az érzékeny áruk tárolására, például az elektronikai és félvezetőiparban. A levegőben található nedvesség, de az oxigén is károkat okozhat például szilíciumlapkákon. Ezért nitrogént használnak az oxigénszegény atmoszféra kialakítására, amely megakadályozza a lassú oxidációt, azaz a korróziót.

A Schiller cég a Purging Bay megoldásával kínál megoldást a lapkák megőrzésére tárolás közben. Minden hely a Stocker (tisztatéri tároló) rendszerben felszerelhető ezzel a kétszintes tárolóállomással. A Purging Bay-en két FOUP kazetta (lapkák tárolására szolgáló tartály) egymás után tárolható és nitrogénnel tisztítható. A Purging Bay-t a Schiller fejlesztette ki és építette meg, és alkalmazható a Schiller Linear Stocker vagy Max Stocker rendszerében.

A Schiller Purging Bay-en minden ismert gyártó 300 mm-es FOUP kazettája tárolható, amelyek alján be- és kiáramló szeleppel vannak ellátva. A Kinematic Coupling és a felső részen elhelyezett elhelyező érzékelő biztosítja a kazetták pontos elhelyezését.

A Purging Bay összes komponense, mint a be- és kiáramló szelepek, szűrőelemek és az elektronikus alkatrészek, helytakarékosan vannak elhelyezve a szerkezet alján. Ezáltal a magasság mindössze 50 mm. Szükség szerint a tisztítási idő és a tisztítási intervallum egyedi igény szerint állítható be a Schiller Lager Management szoftverével, a SWarePro-val.

A Purging Bay már számos projektben kerül alkalmazásra több ezer helykapacitással. Minden egységet még a szállítás előtt, a Schiller saját tisztatéri üzemében teljes funkcionalitási tesztnek vetnek alá, mind mechanikus, mind elektromos alkatrészek esetében.