Conservazione delle fette mediante purga di N₂

Schiller PurgingBay (Immagine: Schiller Automatisierungstechnik GmbH) / Schiller PurgingBay (Immagine: Schiller Automatisierungstechnik GmbH)

Schiller PurgingBay (Immagine: Schiller Automatisierungstechnik GmbH) / Schiller PurgingBay (Immagine: Schiller Automatisierungstechnik GmbH)

Una gran parte dell'aria che respiriamo quotidianamente è composta da azoto (N2). Tuttavia, mentre il corpo umano utilizza solo l'ossigeno presente nell'aria, l'azoto ha un'importanza fondamentale per alcuni settori industriali.

A differenza dell'ossigeno, l'azoto è un gas molto reattivo con poca umidità e quindi ideale per la conservazione di beni sensibili, ad esempio nell'industria elettronica e dei semiconduttori. L'umidità presente nell'aria, ma anche l'ossigeno, possono causare danni, ad esempio, ai wafer di silicio. Per questo motivo, si crea un'atmosfera a basso contenuto di ossigeno con l'ausilio di azoto, che previene l'ossidazione lenta sotto forma di corrosione.

La ditta Schiller offre con il suo Purging Bay una soluzione per la conservazione dei wafer durante lo stoccaggio. Ogni posto di stoccaggio del magazzino (magazzino in camera bianca) può essere dotato di questa stazione di stoccaggio a doppia profondità. Sulla Purging Bay è possibile immagazzinare due cassette FOUP (contenitori per wafer) in successione e lavarle con azoto. La Purging Bay è stata sviluppata e costruita da Schiller e può essere utilizzata nel Schiller Linear Stocker o nel Max Stocker.

Sulla Schiller Purging Bay possono essere immagazzinate tutte le cassette FOUP da 300 mm di produttori noti, dotate di una valvola di ingresso e uscita nella parte inferiore. Il collegamento cinematico e un sensore di posizionamento sulla parte superiore della struttura garantiscono una collocazione precisa delle cassette.

Tutte le componenti della Purging Bay, come le valvole di ingresso e uscita, gli elementi filtranti e i componenti elettronici, sono posizionati in modo compatto nella parte inferiore della struttura. Ciò permette un'altezza complessiva di soli 50 mm. A seconda delle esigenze, il tempo di purga e l'intervallo di purga possono essere impostati su misura tramite il software di gestione magazzino Schiller SWarePro.

La Purging Bay è già impiegata in diversi progetti con più di 1000 posti di stoccaggio. Ogni unità viene sottoposta a un test completo di funzionamento delle componenti meccaniche ed elettroniche presso il laboratorio interno di Schiller prima della consegna.