Bewaring van wafers door N₂-blussing

Schiller PurgingBay (Bild: Schiller Automatisierungstechnik GmbH) / Schiller PurgingBay (Bild: Schiller Automatisierungstechnik GmbH)

Schiller PurgingBay (Bild: Schiller Automatisierungstechnik GmbH) / Schiller PurgingBay (Bild: Schiller Automatisierungstechnik GmbH)

Een groot deel van onze lucht die we dagelijks inademen, bestaat uit stikstof (N2). Terwijl het menselijke lichaam echter alleen de zuurstof uit de lucht gebruikt, heeft stikstof voor sommige industrieën een essentiële betekenis.

In tegenstelling tot zuurstof is stikstof een zeer reactief gas met een lage vochtigheid en daarom ideaal geschikt voor het opslaan van gevoelige goederen, bijvoorbeeld in de elektronica- en halfgeleiderindustrie. Door de in de lucht aanwezige vochtigheid, maar ook door zuurstof, kunnen bijvoorbeeld schade ontstaan aan silicium-wafers. Daarom wordt daar met behulp van stikstof een zuurstofarme atmosfeer gecreëerd die een langzame oxidatie in de vorm van corrosie voorkomt.

Het bedrijf Schiller biedt met zijn Purging Bay een oplossing voor de waferconservering tijdens de opslag. Elke opslagplaats van de Stocker (reinigingsruimte-opslag) kan worden uitgerust met deze dubbele opslaglocatie. Op de Purging Bay kunnen twee FOUP-karren (containers voor wafers) achter elkaar worden opgeslagen en met stikstof worden gespoeld. De Purging Bay is ontwikkeld en gebouwd door Schiller en kan worden ingezet in de Schiller Linear Stocker of Max Stocker.

Op de Schiller Purging Bay kunnen alle 300 mm FOUP-karren van bekende fabrikanten worden opgeslagen, die aan de onderkant beschikken over een in- en uitlaatventiel. Kinematische koppelingen en een plaatsingssensor aan de bovenkant van de constructie zorgen voor een nauwkeurige positionering van de karren.

Alle componenten van de Purging Bay, zoals de in- en uitlaatventielen, de filterelementen en de elektronische onderdelen, zijn ruimtebesparend aan de onderkant van de constructie geplaatst. Hierdoor ontstaat een geringe bouwhoogte van slechts 50 mm. Afhankelijk van de behoefte kunnen de spoeltijd en het spoelinterval op maat worden ingesteld via de Schiller Lagermanagement-Software SWarePro.

De Purging Bay wordt al in diverse projecten met meerdere duizenden opslagplaatsen ingezet. Daarbij wordt elke Bay nog vóór levering - in het eigen reinigingsruimte van Schiller - onderworpen aan een volledige functionele test van de mechanische en elektrische componenten.