Konserwacja wafli przez napełnianie azotem

Schiller PurgingBay (Bild: Schiller Automatisierungstechnik GmbH) / Schiller PurgingBay (Zdjęcie: Schiller Automatisierungstechnik GmbH)

Schiller PurgingBay (Bild: Schiller Automatisierungstechnik GmbH) / Schiller PurgingBay (Bild: Schiller Automatisierungstechnik GmbH)

Duża część naszego powietrza, które codziennie wdychamy, składa się z azotu (N2). Podczas gdy ludzki organizm korzysta jedynie z tlenu zawartego w powietrzu, azot ma dla niektórych gałęzi przemysłu istotne znaczenie.

W przeciwieństwie do tlenu, azot jest bardzo reaktywnym gazem o niskiej wilgotności, co czyni go idealnym do przechowywania wrażliwych towarów, np. w przemyśle elektronicznym i półprzewodnikowym. Dzięki wilgoci zawartej w powietrzu, a także dzięki tlenu, mogą powstawać uszkodzenia na waflach krzemowych. Dlatego tam za pomocą azotu tworzy się atmosferę o niskiej zawartości tlenu, która zapobiega powolnej oksydacji w postaci korozji.

Firma Schiller oferuje rozwiązanie o nazwie Purging Bay do konserwacji wafli podczas przechowywania. Każde miejsce w magazynie Stocker (magazyn w czystej strefie) może być wyposażone w tę dwupoziomową stację magazynową. Na Purging Bay można przechowywać dwie kasety FOUP (pojemniki na wafle) jedna za drugą i płukać je azotem. Purging Bay zostało opracowane i skonstruowane przez Schiller i może być używane w Schiller Linear Stocker lub Max Stocker.

Na Schiller Purging Bay można przechowywać wszystkie kasety FOUP o rozstawie 300 mm od znanych producentów, które mają na spodzie zawór wlotowy i wylotowy. Kinematyczne sprzęgło oraz czujnik umieszczony na górze konstrukcji zapewniają precyzyjne umieszczenie kaset.

Wszystkie komponenty Purging Bay, takie jak zawory wlotowe i wylotowe, elementy filtrujące oraz elementy elektroniczne, są umieszczone na spodzie konstrukcji w sposób oszczędzający miejsce. Dzięki temu wysokość jest niewielka, wynosząca tylko 50 mm. W razie potrzeby czas płukania i interwały płukania mogą być dostosowane indywidualnie za pomocą oprogramowania zarządzania magazynem Schiller SWarePro.

Purging Bay jest już wykorzystywane w różnych projektach z kilkoma tysiącami miejsc magazynowych. Każda stacja jest przed wysyłką - w własnym czystym pomieszczeniu Schiller - poddawana pełnemu testowi funkcjonalnemu komponentów mechanicznych i elektronicznych.