Konservace waferů pomocí N2-purging

Schiller PurgingBay (Obrázek: Schiller Automatisierungstechnik GmbH) / Schiller PurgingBay (Obrázek: Schiller Automatisierungstechnik GmbH)

Schiller PurgingBay (Obrázek: Schiller Automatisierungstechnik GmbH) / Schiller PurgingBay (Obrázek: Schiller Automatisierungstechnik GmbH)

Velká část našeho vzduchu, který denně vdechujeme, se skládá z dusíku (N₂). Zatímco lidské tělo však využívá pouze kyslík z vzduchu, má dusík pro některé průmyslové odvětví zásadní význam.

Na rozdíl od kyslíku je dusík velmi reaktivní plyn s nízkou vlhkostí, a proto je ideální pro skladování citlivých materiálů, například v elektronickém a polovodičovém průmyslu. Díky vlhkosti obsažené ve vzduchu, ale také díky kyslíku, mohou například na křemíkových waferech vznikat poškození. Proto je tam pomocí dusíku vytvářena atmosféra s nízkým obsahem kyslíku, která brání pomalé oxidaci ve formě koroze.

Společnost Schiller nabízí s svým řešením Purging Bay možnost uchovávání waferů během skladování. Každé místo ve skladu (čistírně) může být vybaveno touto dvouhloubkovou skladovací stanicí. Na Purging Bay lze za sebou uložit dvě FOUP kazety (kontejnery na wafery) a propláchnout je dusíkem. Purging Bay byl vyvinut a navržen společností Schiller a může být použit v lineárním skladu Schiller nebo Max Stocker.

Na Schiller Purging Bay lze uložit všechny 300 mm FOUP kazety známých výrobců, které mají na spodní straně vstupní a výstupní ventil. Kinematické spojení a snímač umístění na horní straně konstrukce zajišťují přesné umístění kazet.

Všechny komponenty Purging Bay, jako jsou vstupní a výstupní ventily, filtrační prvky a elektronické součástky, jsou na spodní straně konstrukce uspořádány tak, aby šetřily místo. Díky tomu má zařízení pouze 50 mm na výšku. Podle potřeby lze dobu proplachu a interval proplachu přizpůsobit pomocí softwaru Schiller Lagermanagement SWarePro.

Purging Bay je již používán v různých projektech s několika tisíci místy. Před dodáním je každá stanice v interním čistírně společnosti Schiller kompletně otestována z hlediska funkčnosti mechanických a elektrických komponentů.