Conservación de obleas mediante purga de N₂

Schiller PurgingBay (Bild: Schiller Automatisierungstechnik GmbH) / Schiller PurgingBay (Foto: Schiller Automatisierungstechnik GmbH)

Schiller PurgingBay (Bild: Schiller Automatisierungstechnik GmbH) / Schiller PurgingBay (Imagen: Schiller Automatisierungstechnik GmbH)

Una gran parte del aire que respiramos diariamente está compuesta por nitrógeno (N2). Sin embargo, mientras que el cuerpo humano solo utiliza el oxígeno del aire, el nitrógeno tiene una importancia fundamental para algunos sectores industriales.

En contraste con el oxígeno, el nitrógeno es un gas muy inerte con poca humedad y, por lo tanto, es ideal para el almacenamiento de bienes sensibles, por ejemplo, en la industria electrónica y de semiconductores. La humedad presente en el aire, así como el oxígeno, pueden causar daños, por ejemplo, en obleas de silicio. Por ello, se crea una atmósfera con bajo contenido de oxígeno mediante nitrógeno, que previene la oxidación lenta en forma de corrosión.

La empresa Schiller ofrece con su Purging Bay una solución para la conservación de las obleas durante el almacenamiento. Cada espacio de almacenamiento del Stocker (almacén en sala limpia) puede estar equipado con esta estación de almacenamiento de doble profundidad. En la Purging Bay se pueden almacenar dos cassettes FOUP (contenedores para las obleas) en línea y enjuagarlos con nitrógeno. La Purging Bay fue desarrollada y construida por Schiller y puede ser utilizada en el Schiller Linear Stocker o Max Stocker.

En la Purging Bay de Schiller, se pueden almacenar todas las cassettes FOUP de 300 mm de fabricantes conocidos, que disponen de una válvula de entrada y salida en la parte inferior. Un acoplamiento cinemático, así como un sensor de colocación en la parte superior de la estructura, garantizan una colocación precisa de las cassettes.

Todos los componentes de la Purging Bay, como las válvulas de entrada y salida, los elementos filtrantes y los componentes electrónicos, están ubicados en la parte inferior de la estructura para ahorrar espacio. Esto resulta en una altura de construcción reducida de solo 50 mm. Según las necesidades, el tiempo y el intervalo de enjuague pueden ser establecidos de forma personalizada mediante el software de gestión de almacenamiento SWarePro de Schiller.

La Purging Bay ya se utiliza en diversos proyectos con varios miles de espacios de almacenamiento. Además, cada bay se somete a una prueba completa de funcionamiento de los componentes mecánicos y electrónicos en la sala limpia propia de Schiller antes de su entrega.