Cleanroomtechnologie: De nieuwe ISO 14644-3

Beste lezers,
In de periode van 2011 tot 2019 hebben 17 vergaderingen van de werkgroep ISO 14644 WG3 (Testmethoden) plaatsgevonden.

De actief deelnemende landen zijn de landen waar ook de vergaderingen werden gehouden.

In totaal zijn meer dan 800 inzendingen, resp. opmerkingen, behandeld. De belangrijkste reden waarom zoveel bijeenkomsten moesten worden gepland, had te maken met de metingen in paragraaf B.4: Testen van de hersteltijd, maar ook de metingen in paragraaf B.7: Lektest van het ingebouwde filtersysteem.

Bij paragraaf: B.4: "Testen van de hersteltijd" wordt als opmerking vermeld dat hier de methode wordt uitgelegd, maar niet
de grenswaarde, resp. het acceptatiecriterium. Dit wordt op zijn beurt bepaald door de klant of bijvoorbeeld door de GMP-richtlijnen.

Bij paragraaf: B.7: "Lektest van het ingebouwde filtersysteem" was er uiteindelijk een geheel nieuwe wiskunde voor scan-tijden en de test aerosolopgave, nu onafhankelijk van de ingebouwde filterkwaliteit.

Het moeilijkste aan dit onderwerp waren de twee verschillende meetmethoden, namelijk de fotometer aan de ene kant en de meetsystemen met de deeltjeszaaier aan de andere kant.

De toepasbaarheid van de twee methoden is nu als volgt:
1.) de fotometer-meettechniek (DOP) voor stoffilters H13 – H14 met een grenswaarde van 0,01%
2.) de deeltjeszaaier-meettechniek (DEHS) voor stoffilters H13 – U17 met een grenswaarde van 0,1% en ook 0,01%

De nieuwe ISO 14644-3:2019 gaat hier nog een stap verder en staat toe dat bij de test aerosolopgave een veel lagere ruwe luchtconcentratie wordt gebruikt – altijd afhankelijk van de scansnelheid. Deze mag nu ook worden ingesteld op < 8cm/s en is daarmee gelijkgesteld aan de nationale norm VDI 2083-3.

Als de monstername-sonde een diameter van 3,6 cm heeft en met een scansnelheid van 8,0 cm/s het filtermedium (H13) met afmetingen: 600 x 600 mm wordt afgelegd, mag de beoogde aerosolconcentratie bijvoorbeeld bij 500.000 deeltjes/cft liggen. Dit komt overeen met 17.657.350 deeltjes/m³. De hieruit voortvloeiende scan-tijd bedraagt dan 6 minuten (afgerond). De meetkundige moet bij deze ruwe luchtconcentratie zeer ervaren zijn om eventuele "pinholes" nog te kunnen detecteren. Aanbevolen blijven de ruwe luchtconcentraties vergelijkbaar met VDI 2083-3, namelijk 10^6 deeltjes/cft.

Wil men nu uit voorzorg, zoals in de vorige versie van de norm, werken met een snelheid van 5,0 cm/s en dezelfde voorwaarden, dan is een tijd van 8 minuten nodig (afgerond).

Verder wordt hier nogmaals benadrukt dat een resultaat voor een lek niet kan worden weergegeven met het aantal deeltjes aan de schone zijde, maar altijd als percentage – omdat het ingebouwde filter ook een percentage aangeeft (bijvoorbeeld <0,1%).

Samenvatting:
De uiteindelijk geldige FDIS (final draft international standard) was tot maart 2019 nog in omloop voor redactionele wijzigingen. Ik ga ervan uit dat de nieuwe ISO 14644-3:2019xx in de Engelse resp. Franse versie vanaf april 2020 te koop zal zijn. De norm heeft dan iets meer dan 50 pagina’s. Waarschijnlijk wordt de Duitse versie door DIN ook nog in 2020 gepubliceerd.

Norbert Otto