Reinstwasser az áramköripar számára

A UPW-berendezés központi része egy permeátum-szintű fordított ozmózis berendezés. A háromutas rendszer 3 x 50%-os redundanciát biztosít. (Fotó: Hager + Elsässer)

A víz- és szennyvízkezelés szakértője, a Hager + Elsässer nyerte el a megbízást egy tiszta víz rendszer kifejlesztésére és építésére Oroszországban. A tiszta víz (angolul: Ultra Pure Water / rövidítve UPW) előállítására szolgáló rendszer az egyik legnagyobb projekt, amelyet eddig a félvezetőipar számára valósítottak meg Oroszországban. A UPW-berendezés, amelyet egy új, korszerű szilíciumlapka-gyártó cég számára építenek, a jövőben óránként 100 m³ tiszta vizet fog előállítani. A víz körülbelül 15 000 szilíciumlapka-gyártási folyamat indításához szükséges minden hónapban. A Hager + Elsässer meggyőzte a megrendelőt egy olyan berendezési koncepcióval, amely jelentősen kevesebb vegyszert igényel a vízkezeléshez, mint más technológiák. A többlépcsős eljárás biztosítja továbbá a bór hatékony eltávolítását, hogy megfeleljen az ITRS-útiterv (ITRS = International Technology Roadmap for Semiconductors) ajánlott irányértékeinek. A rendszer üzembe helyezése 2014 közepére tervezett.

A félvezetőgyártó a jövőben 65 és 90 nanométer közötti szerkezeti méretű chipeket fog gyártani. Ezekhez a termékekhez különösen magasak az igények a tiszta vízre. Mert minél kisebb a gyártott termék nanométeres mérete, annál magasabb a víz tisztaságának követelménye a gyártási folyamat során. A tiszta víz minősége mindig döntő hatással van a félvezetőiparban a termék minőségére és a gyártási folyamat hatékonyságára.

A Hager + Elsässer rendszer megfelel a legújabb UPW-szabványoknak, és biztosítja az UPW specifikációk betartását az ionok ppt-szintű tartományában, valamint a részecskék és a TOC (teljes szerves szén) legalacsonyabb határértékeit.

Számos kezelési lépés segítségével a vizet a szükséges minőségre alakítják. A nyersvíz előkezeléséhez több médiás szűrőt és aktívszén-szűrőt alkalmaznak. A „Make-up” folyamatlépésben az előkezelt vizet fordított ozmózissal és elektrodionizációval (EDI) tisztítják az unerwünschten részecskék, szerves és szervetlen szennyeződések, valamint ionok eltávolítására. Egy speciális „Bór-polírozó” egységet használnak a bórspecifikáció betartására. Végül a kezelt vizet egy utolsó tisztítási szakaszban, a „Polishing” ciklusban végleges tisztításnak vetik alá.

A Hager + Elsässer az egyik vezető gyártója az UPW és szennyvízkezelő rendszereknek a mikroelektronika és félvezetőipar számára Oroszországban. Ebben a vízkezelés szempontjából igen igényes iparágban a vállalat teljes vízkörforgási rendszereket kínál – a tiszta víz előállításától a újrahasznosítási, reclaim és szennyvíz rendszerekig.