Reinstwasser voor de halfgeleiderindustrie

Het hart van de UPW-installatie vormt een permeaat-gegradueerde omgekeerde osmose-installatie. De drievoudige installatie zorgt voor 3 x 50% redundantie. (Foto: Hager + Elsässer)

De specialist in water- en afvalwaterbehandeling Hager + Elsässer heeft de opdracht gekregen voor de ontwikkeling en bouw van een zuiverwaterinstallatie in Rusland. De installatie voor de behandeling van zuiverwater (Engels: Ultra Pure Water / afgekort UPW) is een van de grootste projecten die tot nu toe voor de halfgeleiderindustrie in Rusland zijn gerealiseerd. De UPW-installatie, die wordt gebouwd in het kader van een nieuwbouw voor een hoogwaardig waferfabrikant, moet in de toekomst 100 m³ zuiverwater per uur produceren. Het water wordt gebruikt voor de productie van ongeveer 15.000 waferstarts per maand. Hager + Elsässer overtuigde de opdrachtgever met een installatiedesign dat aanzienlijk minder chemicaliën verbruikt voor waterbehandeling dan andere technologieën. De meertrapsprocedure garandeert bovendien de effectieve verwijdering van boor om de aanbevolen richtlijnen volgens de ITRS-roadmap (ITRS = International Technology Roadmap for Semiconductors) te handhaven. De ingebruikname van de installatie is gepland voor medio 2014.

Het halfgeleiderbedrijf produceert in de toekomst chips met een structuurgrootte tussen 65 en 90 nanometer. Voor producten in deze grootteklasse zijn de eisen aan het zuiverwater bijzonder hoog. Want: hoe kleiner de nanometer-omvang van de te vervaardigen producten, des te hoger de vereiste zuiverheid van het water voor het productieproces. De kwaliteit van het zuiverwater heeft in de halfgeleiderindustrie altijd een beslissende invloed op de productkwaliteit en de efficiëntie van het fabricageproces.

De installatie van Hager + Elsässer voldoet aan de nieuwste UPW-standaarden en garandeert de naleving van de UPW-specificaties voor ionen in de ppt-waarde en de laagste grenswaarden voor deeltjes en TOC (totaal organisch koolstof).

Met behulp van meerdere zuiveringsstappen wordt het water op de vereiste kwaliteit gebracht. Voor de voorbehandeling van het ruwe water worden een multi-media-filter en een actiefkoolfilter gebruikt. In de processtap 'Make-up' wordt het voorgezuiverde water met behulp van de procescombinatie van omgekeerde osmose en elektrodeionisatie (EDI) ongewilde deeltjes, organische en anorganische verontreinigingen en ionen verwijderd. Een speciale 'bor-polisher' wordt ingezet om aan de boorspecificatie te voldoen. Ten slotte wordt het gezuiverde water in een laatste reinigingsfase, de zogenaamde 'Polishing'-loop, eindgezuiverd.

Hager + Elsässer behoort tot de marktleiders van UPW- en afvalwaterinstallaties voor de micro-elektronica- en halfgeleiderindustrie in Rusland. In deze voor waterbehandeling zeer veeleisende industrie biedt het bedrijf installatiedesigns voor de volledige waterkringloop – van zuiverwaterbehandeling tot recycling-, reclaim- en afvalwatersystemen.