Woda do chłodzenia dla przemysłu półprzewodnikowego

Serce systemu UPW stanowi wielostopniowa odwrócona osmoza z podziałem na permeat. Trzystopniowa instalacja zapewnia 3 x 50% redundancji. (Zdjęcie: Hager + Elsässer)

Specjalista ds. uzdatniania wody i ścieków Hager + Elsässer otrzymał kontrakt na opracowanie i budowę instalacji do produkcji wody ultra czystej w Rosji. Instalacja do uzdatniania wody ultra czystej (ang. Ultra Pure Water / skrót UPW) jest jednym z największych projektów, które do tej pory zostały zrealizowane dla przemysłu półprzewodników w Rosji. Instalacja UPW, która ma zostać wybudowana w ramach nowego obiektu dla nowoczesnego producenta wafli, ma w przyszłości produkować 100 m³ wody ultra czystej na godzinę. Woda ta jest potrzebna do produkcji około 15 000 startów wafli miesięcznie. Hager + Elsässer przekonał zleceniodawcę koncepcją instalacji, która do uzdatniania wody wymaga znacznie mniej chemikaliów niż inne technologie. Wielostopniowa metoda zapewnia również skuteczne usuwanie boru, co jest zgodne z zalecanymi wartościami według mapy drogowej ITRS (ITRS = Międzynarodowa Mapa Drogowa Technologii dla Półprzewodników). Uruchomienie instalacji jest planowane na połowę 2014 roku.

Firma półprzewodnikowa w przyszłości będzie produkować układy scalone o strukturze od 65 do 90 nanometrów. Dla produktów tej wielkości wymagania dotyczące wody ultra czystej są szczególnie wysokie. Im mniejszy rozmiar nanometrów, tym wyższa wymagana czystość wody w procesie produkcyjnym. Jakość wody ultra czystej zawsze ma decydujący wpływ na jakość produktu i efektywność procesu produkcyjnego w przemyśle półprzewodnikowym.

Instalacja Hager + Elsässer spełnia najnowsze standardy UPW i zapewnia zgodność z specyfikacjami UPW dotyczącymi jonów w zakresie ppt oraz najniższe limity cząstek i TOC (całkowita zawartość organicznego węgla).

Przy użyciu kilku etapów uzdatniania woda jest doprowadzana do wymaganej jakości. Do wstępnego przygotowania surowej wody stosuje się filtr wielomedia i filtr węglowy aktywny. W etapie „Make-up” wstępnie oczyszczona woda jest oczyszczana z niepożądanych cząstek, zanieczyszczeń organicznych i nieorganicznych oraz jonów za pomocą kombinacji procesów odwróconej osmozy i elektrodejonizacji (EDI). Do spełnienia wymagań dotyczących boru stosuje się specjalny „Bor-Polisher”. Na końcu, oczyszczona woda jest poddawana końcowemu oczyszczaniu w ostatnim etapie, tzw. pętli „Polishing”.

Hager + Elsässer należy do liderów rynku w zakresie instalacji UPW i oczyszczania ścieków dla przemysłu mikroelektronicznego i półprzewodnikowego w Rosji. W tym bardzo wymagającym przemyśle związanym z uzdatnianiem wody firma oferuje koncepcje instalacji dla całego cyklu wodnego — od uzdatniania wody ultra czystej po systemy recyklingu, odzysku i odprowadzania ścieków.