Reinstwasser pro polovodičový průmysl

Srdcem systému UPW je permeátově stupňovaná reverzní osmóza. Tato třítrubková zařízení zajišťují 3 x 50 % redundanci. (Foto: Hager + Elsässer)

Specialista na úpravu vody a odpadních vod Hager + Elsässer získal zakázku na vývoj a výstavbu zařízení pro čistou vodu v Rusku. Zařízení pro úpravu čisté vody (anglicky: Ultra Pure Water / zkratka UPW) je jedním z největších projektů, které byly dosud realizovány pro polovodičový průmysl v Rusku. Zařízení UPW, které je součástí novostavby pro vysoce moderního výrobce waferů, má v budoucnu vyrábět 100 m³ čisté vody za hodinu. Voda je potřebná pro výrobu přibližně 15 000 startů waferů měsíčně. Hager + Elsässer přesvědčil zadavatele konceptem zařízení, které k úpravě vody potřebuje výrazně méně chemikálií než jiné technologie. Vícestupňová metoda zároveň zajišťuje efektivní odstranění boru v souladu s doporučenými hodnotami podle ITRS-Roadmap (ITRS = Mezinárodní technologická roadmapa pro polovodiče). Zprovoznění zařízení je plánováno na polovinu roku 2014.

Polovodičová společnost bude v budoucnu vyrábět čipy s strukturální velikostí mezi 65 a 90 nanometry. U produktů této velikosti jsou požadavky na čistotu vody obzvlášť vysoké. Platí: čím menší nanometrová velikost vyráběných produktů, tím vyšší je požadovaná čistota vody pro výrobní proces. Kvalita čisté vody má v polovodičovém průmyslu vždy rozhodující vliv na kvalitu produktu a efektivitu výrobního procesu.

Zařízení od Hager + Elsässer odpovídá nejnovějším standardům UPW a zajišťuje splnění specifikací UPW ohledně iontů v oblasti ppt, stejně jako nejnižší limity částic a celkového organického uhlíku (TOC).

Pomocí několika stupňů úpravy je voda upravena na požadovanou kvalitu. Pro předúpravu surové vody se používá vícevrstvový filtr a aktivní uhlíkový filtr. V procesu „Make-up“ je předčištěná voda pomocí kombinace reverzní osmózy a elektrodeionizace (EDI) zbavena nežádoucích částic, organických a anorganických nečistot a iontů. K dodržení specifikace boru je použit speciální „borový polisher“. Na závěr je upravená voda v poslední fázi čištění, tzv. „polishing“ smyčce, finálně čištěna.

Hager + Elsässer patří mezi přední výrobce zařízení pro čistou vodu a odpadní vody pro mikroelektronický a polovodičový průmysl v Rusku. V tomto velmi náročném odvětví úpravy vody nabízí společnost koncepty zařízení pro celý vodní cyklus – od úpravy čisté vody po recyklační, reclaim a odpadní systémy.