Agua residual para la industria de semiconductores

La pieza central del sistema UPW es una planta de ósmosis inversa escalonada en permeato. La planta de tres calles garantiza una redundancia del 3 x 50 %. (Foto: Hager + Elsässer)

El especialista en tratamiento de agua y aguas residuales Hager + Elsässer ha obtenido la adjudicación para el desarrollo y construcción de una planta de agua ultrapura en Rusia. La planta para el tratamiento de agua ultrapura (en inglés: Ultra Pure Water / abreviado UPW) es uno de los proyectos más grandes que se han realizado hasta ahora para la industria de semiconductores en Rusia. La planta UPW, que se construirá en el marco de una nueva edificación para un fabricante de obleas de alta tecnología, deberá producir en el futuro 100 m³ de agua ultrapura por hora. El agua se necesita para la fabricación de aproximadamente 15.000 inicios de obleas por mes. Hager + Elsässer convenció al cliente con un concepto de planta que requiere significativamente menos productos químicos para el tratamiento del agua en comparación con otras tecnologías. El proceso de varias etapas también garantiza la eliminación efectiva de boro para cumplir con los valores de referencia recomendados según la hoja de ruta ITRS (ITRS= International Technology Roadmap for Semiconductors). La puesta en marcha de la planta está prevista para mediados de 2014.

La empresa de semiconductores fabricará en el futuro chips con un tamaño de estructura entre 65 y 90 nanómetros. Para productos de este tamaño, los requisitos para el agua ultrapura son especialmente altos. Porque: cuanto menor sea el rango en nanómetros de los productos fabricados, mayor será la pureza requerida del agua para el proceso de fabricación. La calidad del agua ultrapura siempre tiene una influencia decisiva en la calidad del producto y en la eficiencia del proceso de fabricación en la industria de semiconductores.

La planta de Hager + Elsässer cumple con los estándares más recientes de UPW y garantiza el cumplimiento de las especificaciones de UPW en cuanto a iones en el rango de ppt, así como los límites más bajos de partículas y del TOC (carbono orgánico total).

Con la ayuda de varias etapas de tratamiento, el agua se lleva a la calidad requerida. Para el pretratamiento del agua cruda se utilizan un filtro multimedias y un filtro de carbón activado. En la etapa de proceso "Make-up", el agua pretratada se libera de partículas no deseadas, contaminantes orgánicos e inorgánicos y iones mediante la combinación de proceso de ósmosis inversa y electrodeionización (EDI). Se utiliza un "polidor de boro" especial para cumplir con la especificación de boro. Finalmente, el agua tratada se somete a una última etapa de limpieza, el llamado ciclo de "pulido" (polishing).

Hager + Elsässer se encuentra entre los líderes del mercado en plantas de UPW y aguas residuales para la industria de microelectrónica y semiconductores en Rusia. En esta industria, muy exigente en cuanto al tratamiento de agua, la empresa ofrece conceptos de plantas para todo el ciclo del agua, desde el tratamiento de agua ultrapura hasta sistemas de reciclaje, recuperación y aguas residuales.