Acqua di reintegro per l'industria dei semiconduttori

Il cuore dell'impianto UPW è costituito da un impianto di osmosi inversa a stadi di permeato. L'impianto a tre vie garantisce una ridondanza del 3 x 50%. (Foto: Hager + Elsässer)

Lo specialista nella depurazione di acqua e acque reflue Hager + Elsässer ha ottenuto l'incarico per lo sviluppo e la costruzione di un impianto di acqua ultrapura in Russia. L'impianto per la produzione di acqua ultrapura (Inglese: Ultra Pure Water / abbreviato UPW) è uno dei più grandi progetti finora realizzati per l'industria dei semiconduttori in Russia. L'impianto UPW, che sarà costruito nell'ambito di una nuova costruzione per un produttore di wafer all'avanguardia, dovrebbe produrre in futuro 100 m³ di acqua ultrapura all'ora. L'acqua è necessaria per la produzione di circa 15.000 avvii di wafer al mese. Hager + Elsässer ha convinto il committente con un concetto di impianto che richiede significativamente meno sostanze chimiche rispetto ad altre tecnologie per la depurazione dell'acqua. Il procedimento a più stadi garantisce inoltre l'eliminazione efficace di boro per rispettare i valori di riferimento raccomandati secondo la roadmap ITRS (ITRS = International Technology Roadmap for Semiconductors). L'avvio dell'impianto è previsto per metà 2014.

La società di semiconduttori produrrà in futuro chip con una dimensione strutturale tra 65 e 90 nanometri. Per i prodotti di questa dimensione, i requisiti per l'acqua ultrapura sono particolarmente elevati. Infatti: quanto più piccolo è il settore nanometrico dei prodotti da realizzare, tanto più alta è la purezza richiesta dell'acqua per il processo di produzione. La qualità dell'acqua ultrapura ha sempre un'influenza decisiva sulla qualità del prodotto e sull'efficienza del processo di produzione nell'industria dei semiconduttori.

L'impianto di Hager + Elsässer rispetta gli standard UPW più recenti e garantisce il rispetto delle specifiche UPW per quanto riguarda gli ioni nel campo dei ppt, nonché i limiti più bassi per particelle e il TOC (carbonio organico totale).

Con l'ausilio di più stadi di depurazione, l'acqua viene portata alla qualità richiesta. Per il pretrattamento dell'acqua grezza vengono utilizzati un filtro multimediale e un filtro a carbone attivo. Nel passaggio di processo "Make-up", l'acqua pretrattata viene liberata da particelle indesiderate, contaminanti organici e inorganici e ioni grazie alla combinazione di osmosi inversa ed elettroionizzazione (EDI). Un apposito "boropolisher" viene utilizzato per rispettare le specifiche sul boro. Infine, l'acqua trattata viene sottoposta a un'ultima fase di pulizia, chiamata "polishing" loop.

Hager + Elsässer è uno dei leader di mercato negli impianti UPW e di trattamento delle acque reflue per l'industria della microelettronica e dei semiconduttori in Russia. In questa industria molto esigente per la depurazione dell'acqua, l'azienda offre concetti di impianto per l'intero ciclo dell'acqua — dalla produzione di acqua ultrapura fino a sistemi di riciclo, reclaim e acque reflue.