Innovatív pozícionáló rendszer a Raman-spektroszkópiához akár 12" méretig

A Steinmeyer innovatív 2X-Y-Ys(Z) pozícionáló rendszere ideális megoldás nagy és nehéz minták precíz pozícionálására Raman-spektroszkópiában. (Kép: Steinmeyer csoport)

A Steinmeyer Mechatronik 2X-Y-Ys(Z) pozícionáló rendszer ideális megoldás nagy és nehéz minták precíz pozícionálására Raman-spektroszkópiában. A tisztatéri mikroszkópos asztal gantry kialakításban, amely további betöltési utat kínál, nagy vizsgálati területtel, magas teherbírással és minimális helyigénnyel rendelkezik. Egyedi igények szerint testreszabható.

A Raman-spektroszkópia a gyártásban és kutatásban alkalmazott, károsodásmentes, kontaktus nélküli módszer a anyagok elemzésére és jellemzésére. A minőség és megbízhatóság eredményei nagyban múlnak a pozícionáló rendszer teljesítményén, amely a minták irányítására és mozgatására szolgál. A Steinmeyer Mechatronik, a Steinmeyer csoport része, magas pontosságú pozícionálási koncepciók specialistája, valamint tapasztalt partnere a félvezetőiparnak, és magas teljesítményű, egyedi megoldásokat kínál, amelyek optimálisan megfelelnek az alkalmazás-specifikus követelményeknek.

2X-Y-Ys (XYZ) pozícionáló rendszer a wafer-ellenőrzéshez

A hagyományos mikroszkópos asztalok általában legfeljebb 150 x 150 mm vizsgálati területtel rendelkeznek, így sok alkalmazásban túl kicsik. A Steinmeyer 2X-Y-Ys(Z) pozícionáló rendszere megoldást nyújt erre. Magas felbontású mozgásokat tesz lehetővé XYZ irányban minták számára akár 400 x 400 mm-es méretig, további betöltési úttal és akár 40 kg teherbírással, így ideális nehéz wafer-chuckok Raman-méréséhez, valamint nagyobb waferekhez 12"-ig. A kiváló állásbiztonság, az egyenletes futás és a rezgéselnyelés biztosítja a pontos fókuszálást a minták specifikus területén. Így molekuláris szinten részletes és pontos információk szerezhetők.

Fejlesztve az állandó gyártási környezethez a félvezetőiparban

A gantry szerkezet biztosítja az XY mozgást. A felső tengelyben kétszeres hosszúságú emelés révén – a 400 mm-es XY munkahúzáson túl – további 400 mm-es betöltési út valósítható meg. A vertikális mozgás és a fókusz egy ferde irányú tengelyen történik, miközben az Y-tengely egyidejű mozgása biztosítja. A ferde emelés része a betöltési útnak. Az Y és Ys tengelyek egyidejű vezérlésével a vertikális Z mozgás valósul meg. A vertikális tapasztalat lehetővé teszi különböző mintavastagságok mérését. A pozícionáló rendszer karbantartásmentes működésre van tervezve 24/7-es gyártási környezetben, ISO 4 tisztatéri osztályig (magasabb kérésre), és könnyen integrálható meglévő mechanikákba és házakba. A optika rögzített helyen is elhelyezhető. A meghajtást golyósorsós hajtások és léptetőmotorok biztosítják. A csatlakozás meglévő vezérlő elektronikához külső vezérléssel és DLL vagy AVI interfészekkel történik.

Sokoldalú opciók a ügyfélspecifikus testreszabáshoz

Mint a testreszabott megoldások specialistája, a Steinmeyer Mechatronik számos lehetőséget kínál az alkalmazás-specifikus beállításokra. Többek között a következő opciók állnak rendelkezésre: Lineáris mérőszalag 0,5 µm ismételhetőséggel, lineáris motor magas átviteli sebességhez, dönthető tengelyek a chuck igazításához, forgótábla kerek minták méréséhez, szalag szigetelés, szívás, fék, mintatartó, burkolat, biztonsági koncepció és technika (Vészleállítás, ajtókapcsoló, fényfüggöny, lézerszkenner, STO, SLS). Természetesen egyedi felépítés is lehetséges állvánnyal, burkolattal vagy a gyárba történő integrációval.

Innovatív megoldás a félvezetőipar számára

Nagy vizsgálati terület és magas teherbírás minimális helyigénnyel, valamint magas rugalmassággal: a Steinmeyer 2X-Y-Ys(Z) pozícionáló rendszere mérföldkövet jelent a teljesítmény, biztonság és megbízhatóság terén, és innovatív megoldás az organikus vegyületek elemzéséhez magas tisztaságú felületeken – legyen szó félvezetőgyártásról és fejlesztésről (chuckok, waferek, chipek), funkciós felületek vizsgálatáról (litográfiai gépek, wafer léptetők, vágás), kijelzőgyártásról, gyógyszerfejlesztésről, összeszerelés fejlesztéséről vagy hatóanyag-optimálásról.