Sistema de posicionamiento innovador para espectroscopía Raman hasta 12"

El innovador sistema de posicionamiento 2X-Y-Ys(Z) de Steinmeyer es una solución ideal para la colocación precisa de muestras grandes y pesadas en la espectroscopía Raman. (Imagen: Grupo Steinmeyer)

El sistema de posicionamiento 2X-Y-Ys(Z) de Steinmeyer Mechatronik es una solución ideal para el posicionamiento preciso de muestras grandes y pesadas en espectroscopía Raman. La mesa de microscopio apta para salas limpias, de construcción en pórtico, ofrece un recorrido adicional de carga y destaca por su amplio rango de escaneo, alta capacidad de carga y mínimo espacio requerido. Las personalizaciones son posibles.

La espectroscopía Raman ha demostrado ser un método no destructivo y sin contacto para el análisis y la caracterización de materiales en la industria y la investigación. La calidad y fiabilidad de los resultados dependen en gran medida de la capacidad del sistema de posicionamiento, que se utiliza para la alineación y el movimiento de las muestras. Steinmeyer Mechatronik, parte del grupo Steinmeyer, es especialista en conceptos de posicionamiento de alta precisión y un socio experimentado en la industria de semiconductores, realizando soluciones de alto rendimiento y a medida que cumplen de manera óptima con los requisitos específicos de la aplicación.

Sistema de posicionamiento 2X-Y-Ys (XYZ) para la inspección de obleas

Las mesas de microscopio clásicas generalmente tienen rangos de escaneo de hasta 150 x 150 mm, lo que las hace insuficientes para muchas aplicaciones. La solución es el sistema de posicionamiento 2X-Y-Ys(Z) de Steinmeyer. Permite movimientos de alta resolución en XYZ para muestras de hasta 400 x 400 mm, con recorrido adicional de carga y cargas de hasta 40 kg, siendo ideal para medición Raman de portadores de obleas pesadas y grandes obleas de hasta 12". La excelente estabilidad en reposo, el movimiento uniforme y el aislamiento de vibraciones garantizan un enfoque preciso del área de muestra específica. De este modo, se pueden obtener detalles e información precisa a nivel molecular.

Desarrollado para uso continuo en la producción de semiconductores

La estructura en pórtico garantiza el movimiento XY. Con un recorrido doble en el eje superior, además del recorrido de trabajo de 400 mm en XY, se realiza un recorrido de carga adicional de 400 mm. El movimiento vertical y el enfoque se logran mediante un eje inclinado, que permite el movimiento simultáneo del eje Y. El recorrido inclinado forma parte del recorrido de carga. La coordinación simultánea de los ejes Y y Ys realiza el movimiento vertical en Z. Gracias a la experiencia en movimiento vertical, se pueden medir diferentes grosores de muestra. El sistema de posicionamiento está diseñado para un funcionamiento con bajo mantenimiento en producción 24/7 hasta clase de sala limpia ISO 4 (superior bajo solicitud) y se puede integrar fácilmente en mecanismos y carcasas existentes. La óptica puede colocarse de forma fija. La accionamiento se realiza mediante husillos de bolas y motores paso a paso. La conexión a un sistema de control existente se realiza a través de un control externo y interfaces DLL o AVI.

Amplia variedad de opciones para personalizaciones específicas del cliente

Como especialista en soluciones personalizadas, Steinmeyer Mechatronik ofrece muchas posibilidades para adaptaciones específicas de la aplicación. Entre las opciones disponibles se incluyen: barra de medición lineal para una repetibilidad de 0,5 µm, motor lineal para alto rendimiento, ejes inclinados para alinear el portador, mesa giratoria para medir muestras redondas, sellado de banda, aspiración, freno, soporte para muestras, carcasa, concepto y tecnología de seguridad (parada de emergencia, interruptor de puerta, cortina de luz, escáner láser, STO, SLS). Por supuesto, también es posible una configuración personalizada con estructura, carcasa o integración en la fábrica.

Solución innovadora para la industria de semiconductores

Amplio rango de escaneo y alta capacidad de carga con un espacio mínimo y un alto grado de flexibilidad: el sistema de posicionamiento 2X-Y-Ys(Z) de Steinmeyer establece estándares en rendimiento, seguridad y fiabilidad, siendo una solución innovadora para el análisis de compuestos orgánicos en superficies altamente puras, ya sea en la producción y desarrollo de semiconductores (portadores, obleas, chips), en el análisis de superficies funcionales (equipos de litografía, stepper de obleas, dicing), en la fabricación de pantallas, en el desarrollo de medicamentos, en la creación de ensamblajes o en la optimización de principios activos.