Un pour tous : Transport flexible en salle blanche

Depuis plusieurs années, l'automatisation du transport en salle blanche constitue une approche essentielle pour augmenter la productivité. Différents systèmes sont utilisés pour remplacer l'activité manuelle de transport par des opérateurs. D'une part, des systèmes de navettes OHT suspendues au plafond, des AMR au sol ou encore des réseaux de convoyeurs.

Dans l'industrie des semi-conducteurs, en fonction du diamètre des wafers produits, il existe différents contenants de transport dans lesquels plusieurs wafers (appelés « horden ») sont placés. Alors que les systèmes OHT sont principalement disponibles uniquement pour les FOUP de 300 mm, les AMR et les convoyeurs sont souvent également utilisables pour des diamètres de disques plus petits et différents types de cassettes.

Surtout lorsque des débits très élevés sont nécessaires, les AMR atteignent rapidement leurs limites en termes de performance. Dans ce cas, les systèmes de convoyeurs peuvent assurer des débits élevés, et ce malgré un principe de fonctionnement très simple.

Le système de transport en salle blanche de Schiller offre une solution hautement disponible et performante pour la logistique interne dans les usines de semi-conducteurs modernes. Le composant central est le système de convoyage en salle blanche (Cleanroom Conveyor).

Avec sa dernière évolution, Schiller a créé un système encore plus flexible et adapté aux besoins des clients. En plus du convoyeur de 300 mm déjà présent dans le portefeuille, cette évolution permet également de transporter d'autres types de cassettes (OC 150 mm, OC 200 mm, HA 200). Sur demande, tous les types de contenants peuvent également être transportés sur la même ligne de convoyeur. Cette opération mixte est souvent nécessaire lorsque, dans un avenir proche, le diamètre produit doit être augmenté ou lorsque différents produits sont traités sur les mêmes lignes de production.

La nouvelle technologie de convoyage dispose également de l'embrayage magnétique éprouvé pour un transfert de puissance sans contact et donc sans friction (pas de courroies ni pièces mobiles), ainsi que de deux chaînes d'entraînement par élément, permettant d'entraîner toutes les roulettes. Tous les avantages en termes de facilité d'entretien et d'installation simple, tels que l'accès rapide à tous les éléments de convoyage essentiels (accès par le haut/en bas) et le remplacement rapide des roulettes d'entraînement (Quick-Change), sont également conservés dans cette évolution.

Les convoyeurs en salle blanche de Schiller sont utilisés dans des salles blanches jusqu'à la classe ISO 3.