Jeden pro všechny: Flexibilní doprava v čistém prostoru

Po několik let představuje automatizace přepravy v čistém prostoru významný přístup ke zvýšení produktivity. Používají se různé systémy, které nahrazují manuální přepravní činnosti operátorů. Jedná se například o stropní OHT shuttle systémy, podlahové AMR nebo také dopravníkové sítě.

V polovodičovém průmyslu existují v závislosti na průměru vyráběných waferů různé přepravní nádoby, do kterých je vloženo několik waferů (tzv. horden). Zatímco OHT systémy jsou většinou dostupné pouze pro 300 mm FOUP, jsou AMR a dopravníkové systémy často použitelné i pro menší průměry disků a typy karet.

Zejména pokud jde o velmi vysoké průtoky, AMR však velmi rychle dosahují hranic svých výkonových schopností. V takovém případě mohou dopravníkové systémy zajistit vysoké průtoky spolehlivě, a to i přes velmi jednoduchý princip funkce.

Systém přepravy v čistém prostoru od společnosti Schiller nabízí vysoce dostupné a výkonné řešení pro intralogistiku v moderních polovodičových továrnách, jádrem je systém přepravy v čistém prostoru (Cleanroom Conveyor).

S nejnovějším vývojem tohoto systému přepravy v čistém prostoru vytvořila společnost Schiller systém, který je nyní ještě flexibilnější a přizpůsobený potřebám zákazníků. Kromě dosud v portfoliu dostupného dopravníku pro 300 mm lze s tímto vylepšením přepravovat i další typy karet (OC 150 mm, OC 200 mm, HA 200). V případě potřeby také všechny typy nádob na stejné trase dopravníku. Tento smíšený provoz je často nutný, pokud se v dohledné době plánuje zvětšení průměru vyráběných waferů nebo pokud na stejných výrobních linkách probíhají různé produkty.

Nová dopravní technika má také osvědčené magnetické spojení pro bezkontaktní a tím bez tření přenos síly (žádné řemeny nebo pohyblivé části), a dva pohonné řetězce na každý prvek, takže všechny válce jsou poháněny. Výhody z hlediska údržby a snadné instalace, jako je rychlý přístup ke všem klíčovým prvkům dopravníku (přístup shora/dolů) a rychlá výměna poháněcích válců (Quick-Change), zůstávají i nadále zachovány v rámci vývoje.

Cleanroom Conveyor od společnosti Schiller nachází uplatnění v čistých prostorách až do třídy ISO 3.