Uno para todos: Transporte flexible en la sala limpia

Desde hace varios años, la automatización del transporte en la sala limpia representa un enfoque fundamental para aumentar la productividad. Para ello, se utilizan diversos sistemas para reemplazar la actividad manual de transporte por parte de los operadores. Por un lado, sistemas OHT-Shuttle suspendidos en el techo, AMR con soporte en el suelo o también redes de transportadores.

En la industria de semiconductores, dependiendo del diámetro de los obleas producidas, existen diferentes contenedores de transporte en los que se colocan varias obleas (llamadas horden). Mientras que los sistemas OHT están disponibles en su mayoría solo para FOUP de 300 mm, los AMR y los transportadores también son frecuentemente utilizables para diámetros de discos más pequeños y tipos de cassettes.

En particular, cuando se trata de tasas de producción muy altas, los AMR alcanzan rápidamente los límites de su capacidad. En estos casos, los sistemas de transportadores pueden garantizar altas tasas de transporte, a pesar de su principio de funcionamiento muy simple.

El sistema de transporte en sala limpia de Schiller ofrece una solución altamente disponible y potente para la intralogística en fábricas modernas de semiconductores; la pieza central es el sistema de transporte en sala limpia (Cleanroom Conveyor).

Con su desarrollo más reciente, Schiller ha creado un sistema que ahora es aún más flexible y se adapta a las necesidades de los clientes. Además del transportador de 300 mm que ya forma parte del portafolio, con esta evolución también se pueden transportar otros tipos de cassettes (OC de 150 mm, OC de 200 mm, HA 200). Opcionalmente, todos los tipos de contenedores en la misma línea de transporte. Este modo de operación mixta suele ser necesario cuando, en un futuro cercano, se planea aumentar el diámetro producido o cuando diferentes productos se procesan en las mismas líneas de producción.

La nueva tecnología de transporte también cuenta con la confiable acoplamiento magnético para la transmisión de fuerza sin contacto y, por tanto, sin fricción (sin correas ni piezas móviles), además de dos cadenas de accionamiento por elemento, de modo que todas las ruedas son impulsadas. Todas las ventajas en cuanto a facilidad de mantenimiento y sencilla instalación, como el acceso rápido a todos los elementos de transporte principales (acceso desde arriba/abajo) y el intercambio rápido de las ruedas motrices (Quick-Change), se mantienen en la evolución.

Los transportadores en sala limpia de Schiller se utilizan en salas limpias hasta la clase ISO 3.