Egy mindenkiért: Rugalmas szállítás a tisztatérben

Az évek óta tartó tisztatéri szállítási automatizálás lényeges megközelítés a termelékenység növelésében. Különböző rendszerek alkalmazása révén helyettesítik a kezelő által végzett manuális szállítást. Egyrészt mennyezethez rögzített OHT-Shuttle rendszerek, padlóra helyezett AMR-k vagy akár szállítószalag hálózatok.

A félvezetőiparban a gyártott waferek átmérőjétől függően különböző szállítótartályok léteznek, amelyekbe több wafer (úgynevezett hordók) kerülnek. Míg az OHT rendszerek nagy részben csak 300 mm-es FOUP-okra érhetők el, az AMR és a szállítószalagok gyakran kisebb lapátmérőkhöz és kazettatípusokhoz is alkalmazhatók.

Főként, ha nagyon magas átviteli sebességekről van szó, az AMR gyorsan eléri teljesítőképességének határait. Ebben az esetben a szállítószalag rendszerek magas átviteli sebességet biztosítanak, mégis egyszerű működési elvvel.

A Schiller tisztatéri szállítórendszere magas rendelkezésre állású és erőteljes megoldást kínál a modern félvezetőgyárak intralogisztikájára, alapvető eleme a tisztatéri szállítórendszer (Cleanroom Conveyor).

A Schiller legújabb fejlesztésével ez a tisztatéri szállítószalag-rendszer még rugalmasabban alkalmazható, és a vevők igényeihez igazodik. A portfólióban eddig szereplő 300 mm-es szállítószalag mellett a fejlesztés lehetővé teszi további kazettatípusok (150 mm OC, 200 mm OC, HA 200) szállítását is. Szükség esetén ugyanazon a szállítószalagon minden tartálytípus szállítható. Ez a vegyes üzem gyakran szükséges, ha például a gyártott átmérőt a közeljövőben növelni kívánják, vagy különböző termékek futnak ugyanazon gyártósoron.

Az új szállítási technológia szintén megbízható mágneses csatlakozást alkalmaz a kontaktus nélküli, így súrlódásmentes erőátvitelhez (nincs szíj vagy mozgó alkatrész), valamint két hajtási láncot minden elemhez, így minden görgő hajtott. Az összes előny, mint a karbantartásbarát kialakítás, az egyszerű telepítés, a gyors hozzáférés minden fontos szállítóelemhez (felülről/alulról való hozzáférés) és a gyors hajtókerék-csere (Quick-Change), szintén megmarad a fejlesztés során.

A Schiller tisztatéri szállítószalagjai alkalmazhatók ISO 3 osztályig terjedő tisztatéri környezetben.