Eén voor allen: Flexibel transport in de cleanroom

Sinds meerdere jaren vormt automatisering van transport in de cleanroom een belangrijke aanpak voor het verhogen van de productiviteit. Hierbij worden verschillende systemen toegepast om de handmatige transportactiviteiten door operators te vervangen. Van plafondgebonden OHT-shuttle systemen, bodemgestuurde AMR's tot conveyor-netwerken.

In de halfgeleiderindustrie zijn er afhankelijk van de diameter van de geproduceerde wafers verschillende transportcontainers, waarin meerdere wafers (zogenaamde batches) worden geplaatst. Terwijl OHT-systemen grotendeels alleen beschikbaar zijn voor 300 mm FOUP's, kunnen AMR's en conveyors vaak ook worden ingezet voor kleinere schijfdiameters en kassettypen.

Met name wanneer het gaat om zeer hoge doorvoersnelheden, komen AMR's echter snel aan de grenzen van hun capaciteit. In dat geval kunnen conveyor-systemen hoge doorvoersnelheden garanderen, en dat ondanks een zeer eenvoudig werkingsprincipe.

Het transportsysteem voor cleanrooms van Schiller biedt een hoogbeschikbare en krachtige oplossing voor intralogistiek in moderne halfgeleiderfabrieken. Het kernstuk is het cleanroom transportsysteem (Cleanroom Conveyor).

Met de nieuwste ontwikkeling van deze Cleanroom Conveyor heeft Schiller een systeem gecreëerd dat nu nog flexibeler inzetbaar is en aansluit bij de behoeften van de klanten. Naast de tot nu toe in het portfolio aanwezige 300 mm conveyor, kunnen met de verdere ontwikkeling ook andere kassettentypen (150 mm OC, 200 mm OC, HA 200) worden getransporteerd. Indien nodig ook alle container-typen op hetzelfde conveyortraject. Deze gemengde bedrijfsvoering is vaak noodzakelijk wanneer bijvoorbeeld de geproduceerde diameter op korte termijn wordt vergroot of wanneer verschillende producten via dezelfde productielijnen worden verwerkt.

De nieuwe transportsystemen beschikken eveneens over de beproefde magnetische koppeling voor contactloze en daardoor wrijvingsvrije krachtoverdracht (geen riemen of bewegende onderdelen), evenals twee aandrijflijnen per element, zodat alle rollen worden aangedreven. Alle voordelen op het gebied van onderhoudsvriendelijkheid en eenvoudige installatie, zoals snelle toegang tot alle essentiële transportonderdelen (van boven of onder) en snelle vervanging van de aandrijfrollen (Quick-Change), blijven ook in de verdere ontwikkeling behouden.

Cleanroom Conveyor van Schiller wordt ingezet in cleanrooms tot ISO klasse 3.