Solutions optimales adaptées pour les applications de précision et de haute pureté

Avec une grande diversité de matériaux, des exigences élevées en termes de débit et des spécifications de propreté correspondant aux grades 2 et 1, les installations de nettoyage ultrasonique à plusieurs bains constituent une solution optimale. Les stations de nettoyage et de rinçage peuvent être combinées librement, permettant même l'utilisation de différents médias de nettoyage et qualités d'eau de rinçage. (Crédit photo : Ecoclean)

Pour le développement des processus et la définition des paramètres de nettoyage spécifiques à chaque pièce, des centres d'essais à haute pureté équipés de salles blanches et de l'équipement d'analyse approprié sont à disposition. (Source de l'image : Ecoclean) / High-purity test centers with cleanrooms and the appropriate analysis equipment are available for developing processes and determining part-specific cleaning parameters. (Photo credit: Ecoclean)

Construction, fabrication et équipement des installations empêchent la ré- et la contamination croisée. Elles sont conçues pour une connexion ou une intégration dans une salle blanche. (Source de l'image : Ecoclean) / La conception, la fabrication et les caractéristiques des systèmes empêchent la contamination croisée et la récontamination. Ils sont conçus pour une connexion ou une intégration dans une salle blanche. (Crédit photo : Ecoclean)

La conception et les caractéristiques spéciales de haute pureté du système à double chambre pour les médias aqueux permettent un nettoyage efficace même pour de grandes pièces, tout en atteignant de manière stable les spécifications de propreté correspondant au Grade 2. (Crédit photo : Ecoclean) / Grâce à la conception et aux caractéristiques spéciales de haute pureté du système à double chambre pour les médias aqueux, il est possible de nettoyer efficacement des composants de grande taille afin de garantir que les spécifications de propreté correspondant au Grade 2 soient systématiquement atteintes. (Crédit photo : Ecoclean)

L'option de procédé de nettoyage par pression pulsée (PPC) garantit que les contaminations sont également éliminées des plus petites cavités, des structures capillaires les plus fines et des surfaces poreuses de composants complexes. (Source de l'image : Ecoclean) / L'option de processus de nettoyage par pression pulsée (PPC) élimine efficacement les contaminants — même des plus petites cavités, des structures capillaires les plus fines et des surfaces poreuses de composants complexes. (Crédit photo : Ecoclean)

Élément de connexion de quelques millimètres, optique de précision complexe ou composant d'installation de grande envergure, les exigences de propreté pour les pièces de haute technologie deviennent de plus en plus exigeantes et strictes dans de nombreux secteurs. Les spécifications concrètes varient selon le composant, le secteur industriel et l'application, mais il est généralement impossible d'obtenir le résultat nécessaire à une qualité de produit stable avec des systèmes de nettoyage conventionnels. En tant que fournisseur expérimenté de solutions pour le nettoyage de précision et de haute pureté depuis plusieurs années, Ecoclean poursuit de manière cohérente le développement de systèmes, procédés et processus de nettoyage pour ce domaine, notamment avec des packs d'équipement spécialement conçus.

Il s'agit de secteurs tels que l'industrie des fournisseurs de semi-conducteurs, l'industrie optique et optoélectronique, la technologie des couches minces, la technique du vide, laser et analyse, ainsi que la technologie médicale, où les exigences en termes de performance et de fiabilité des composants et pièces ont considérablement augmenté et continuent de croître. Cela a des répercussions sur le nettoyage des pièces.

Exigences de propreté accrues dues à de nouveaux produits et processus

Pour les composants destinés aux équipements de production de semi-conducteurs, les nouvelles évolutions, notamment dans les steppers et scanners pour la lithographie EUV, entraînent non seulement des pièces mécaniques de plus en plus complexes géométriquement, mais aussi de plus en plus grandes et lourdes. Les diamètres de ces équipements varient aujourd'hui entre un millimètre et plus d'un mètre, la « lame » s'écartant continuellement. Parallèlement, la diversité des matériaux augmente. De plus, les spécifications concernant la propreté particulaire, filmique-chimique, organique et inorganique deviennent de plus en plus strictes. La même tendance s'applique aux composants sous vide, utilisés dans les domaines UHV, XHV et UCV, par exemple dans les systèmes laser haute performance, les instruments de mesure et d'analyse de haute technologie. Pour les optiques de précision telles que miroirs, lentilles et prismes, ainsi que les pièces optiques micro, des géométries plus complexes et des matériaux modifiés posent également de nouveaux défis en matière de nettoyage. La technologie de revêtement exige des processus de plus en plus performants pour obtenir des surfaces ultra-propres. Et ce, que les pièces soient des outils de machine, des composants automobiles ou des produits optiques, à nettoyer avant ou après un revêtement.

Définition adaptée des exigences de propreté

Les tâches de nettoyage des pièces impliquent des défis exigeants qui s'étendent sur l'ensemble du processus de fabrication. Les exigences de propreté varient selon le produit, le secteur d'application et l'entreprise. La définition des spécifications de propreté particulaire, qui peuvent atteindre le niveau nanométrique pour les applications de précision et de haute pureté, se fait généralement par la classification de la pureté de surface (ORK). Les exigences concernant la propreté filmique-chimique, organique et inorganique de la surface sont souvent définies par des spécifications individuelles ou des normes internes, telles que les taux de dégazage, évalués par spectrométrie de masse. Pour résoudre ces tâches de manière adaptée, efficace et durable, il faut à la fois une expertise technologique approfondie et une connaissance des applications et des relations physiques. En tant que fournisseur complet expérimenté de solutions orientées vers l'avenir pour le nettoyage de précision et de haute pureté, Ecoclean possède ces deux compétences. Cela garantit des solutions de nettoyage conçues et équipées selon les exigences, permettant d'atteindre de manière stable des spécifications de propreté définies, jusqu'aux exigences les plus strictes actuelles (par exemple Grade 1).

Sélection du procédé de nettoyage et de la technologie d'installation appropriés

Les critères essentiels pour choisir le procédé de nettoyage optimal et la technologie d'installation sont la propreté à atteindre, la contamination à éliminer, ainsi que le matériau et la géométrie de la pièce. Sur cette base, il est possible de déterminer quelles étapes de processus, avec quel média de nettoyage et quelle mécanique, sont nécessaires. Des aspects tels que la qualité du média de rinçage et la technologie de séchage sont également pris en compte, tout comme la manipulation des pièces selon les critères de propreté et les conditions ambiantes, par exemple la connexion ou l'intégration dans une salle blanche.

Si la spécification est le standard « sans huile ni graisse », par exemple Grade 4, des systèmes compacts et économiques à chambre unique sous vide complet sont disponibles, dont la technologie, la gestion et la préparation des médias, ainsi que la conception, ont été spécialement adaptées aux applications de nettoyage haut de gamme. Avec ces systèmes, qui fonctionnent avec des solvants respectueux de l’environnement ou des nettoyants à base d’eau, il est également possible d’obtenir un résultat conforme aux exigences, même pour des pièces géométriquement complexes. Cela est rendu possible grâce à des options de procédé modulaires telles que le lavage par injection, le jet, la haute pression, l’immersion, l’ultrasons ou le plasma, ainsi que le nettoyage par ultrasons Plus ou Pulsated Pressure Cleaning (PPC). Lors de ces applications, un alcool modifié (solvant partiellement polaire) est souvent utilisé en raison de ses avantages liés aux médias, tels que la possibilité de nettoyer différents matériaux. La limite des exigences pouvant être atteintes avec ces systèmes est par exemple le Grade 2.

Particulièrement pour les grandes pièces, les systèmes de nettoyage en chambre offrent des avantages grâce à la mécanique de procédé concentrée dans la chambre de travail, comme le PPC, l’ultrasons ou le Megaschall, ainsi que le lavage par injection. Pour pouvoir utiliser ces avantages également pour des spécifications de propreté de Grade 2 ou équivalentes, Ecoclean fabrique des systèmes à double chambre EcoCvela pour le nettoyage avec des médias à base d’eau. En plus de l’équipement spécifique pour la haute pureté, la présence de circuits média séparés pour le nettoyage et le rinçage garantit que le résultat de nettoyage défini est atteint de manière fiable et reproductible.

Lorsque la diversité des matériaux ou des exigences de débit élevé, ou encore des spécifications de propreté, par exemple Grade 1, empêchent la résolution des tâches de nettoyage avec une seule chambre livrable à court terme, une installation de nettoyage ultrasonique multi-bains est nécessaire. La gamme de solutions standardisées de la série UCMSmartLine ou UCMPerformanceLine de SBS Ecoclean offre également des solutions efficaces dans ce domaine. Grâce à l’intégration de techniques électriques et de commande dans les modules pour les étapes de procédé telles que le nettoyage, le rinçage, le séchage, le chargement et le déchargement, ainsi qu’à un système de transport flexible, ces systèmes peuvent être facilement adaptés à chaque tâche et étendus selon les besoins. Les systèmes de nettoyage ultrasonique multi-bains conçus sur mesure, comme le UCM HighLine, sont généralement utilisés dans des applications haut de gamme, par exemple dans l’industrie des fournisseurs de semi-conducteurs, l’industrie laser et optique.

Développement et conception du procédé dans le centre d’essais

Le choix du concept d’installation le plus adapté, en termes de propreté et de rentabilité, est déterminé par des essais de nettoyage avec des pièces originales ou des échantillons de test. Ecoclean dispose à cet effet de centres d’essais haute pureté. Cela permet de développer de manière spécifique au produit les processus et paramètres de nettoyage, qui peuvent être enregistrés sous forme de programmes dans le système de contrôle de l’installation. Cela garantit que chaque pièce est traitée avec des paramètres de procédé validés et que la propreté requise est atteinte de manière stable et reproductible. De plus, tous les paramètres de procédé pertinents peuvent être surveillés, documentés et transmis à des systèmes supérieurs.