Optimálně přizpůsobená řešení pro přesné a vysoké čistoty aplikace

Při široké škále materiálů, vysokých požadavcích na průchodnost a specifikacích čistoty odpovídajících třídám 2 a 1 jsou vícekomorové ultrazvukové čisticí zařízení optimálním řešením. Čisticí a oplachové stanice lze libovolně kombinovat, což umožňuje použití různých čisticích médií a kvality oplachové vody. (Zdroj obrázku: Ecoclean)

Pro vývoj procesů a stanovení specifických parametrů čištění dílů jsou k dispozici testovací centra s vysokou čistotou, s čistými prostory a odpovídajícím analytickým zařízením. (Zdroj obrázku: Ecoclean) / High-purity test centers with cleanrooms and the appropriate analysis equipment are available for developing processes and determining part-specific cleaning parameters. (Photo credit: Ecoclean)

Konstrukce, zpracování a vybavení zařízení zabránit křížové a rekontaminaci. Jsou navrženy pro připojení nebo integraci do čistého prostoru. (Zdroj obrázku: Ecoclean) / Konstrukce, zpracování a vybavení systémů zabraňují křížové a rekontaminaci. Jsou navrženy pro připojení nebo integraci do čisté místnosti. (Označení fotografie: Ecoclean)

Konstrukce a speciální vysoké čistoty vybavení dvoukomorového systému pro vodní média umožňuje efektivní čištění i velkých součástí, přičemž jsou stabilně dosaženy čistotnostní požadavky odpovídající stupeň 2. (Zdroj obrázku: Ecoclean) / Díky konstrukci a speciálním funkcím vysoké čistoty dvoukomorového systému pro vodní média lze efektivně čistit i velké součásti, přičemž jsou konzistentně dosahovány požadavky na čistotu odpovídající stupeň 2. (Foto: Ecoclean)

Možnost čištění pulsovaným tlakem (PPC) zajišťuje, že kontaminace jsou odstraněny i z nejmenších dutin, nejjemnějších kapilárních struktur a porézních povrchů složitých součástí. (Zdroj obrázku: Ecoclean) / Možnost procesu čištění pulsovaným tlakem (PPC) účinně odstraňuje kontaminanty – i z nejmenších dutin, nejjemnějších kapilárních struktur a porézních povrchů složitých součástí. (Foto: Ecoclean)

Milimetr-velké spojovací prvky, složitá přesná optika nebo metrové komponenty zařízení, požadavky na čistotu u vysoce technologických dílů se v řadě odvětví stále zpřísňují a stávají se náročnějšími. Konkrétní specifikace se liší podle typu součásti, průmyslového a použití, avšak s běžnými čisticími zařízeními obvykle nelze dosáhnout výsledku, který je nezbytný pro stabilní kvalitu produktu. Jako dlouhodobě zkušený poskytovatel řešení pro čištění s vysokou přesností a vysokou čistotou posouvá Ecoclean vývoj čisticích zařízení, procesů a metod pro tuto oblast důsledně vpřed, mimo jiné s speciálně navrženými balíčky vybavení.

Jedná se například o odvětví jako dodavatelský řetězec polovodičů, optický a optoelektronický průmysl, tenkovrstvá technologie, vakuová, laserová a analytická technika, stejně jako medicínská technika, kde se požadavky na výkon a spolehlivost komponent a dílů výrazně zvýšily a dále rostou. To má dopad na čištění dílů.

Vyšší požadavky na čistotu díky novým produktům a procesům

U komponentů pro výrobní zařízení polovodičů vyplývají z nových vývojů, například u waferových skenérů a skenerů pro EUV-litografii, nejen stále složitější geometrické a mechanické díly, ale také se stávají stále většími a těžšími. Průměry těchto zařízení dnes dosahují od jednoho milimetru až po více než jeden metr, přičemž se „řez“ neustále rozšiřuje. Současně se zvyšuje rozmanitost materiálů. Navíc jsou specifikace týkající se částicové, filmové-chemické, organické a anorganické čistoty stále přísnější. Podobně je tomu u vakuových komponentů, které se používají v oblasti UHV, XHV a UCV, například v systémech vysokovýkonných laserů, vysoce technických měřicích a analytických přístrojích. U přesných optik, jako jsou zrcadla, čočky a hranoly, stejně jako mikrooptické díly, přinášejí složitější geometrie a změněné materiály nové a náročné úkoly při čištění. Technologie povlakování vyžadují stále výkonnější procesy s vysoce čistými povrchy. A to bez ohledu na to, zda je třeba díly, například strojní nástroje, automobilové součástky nebo optické produkty, čistit před nebo po povlakování.

Definice požadované čistoty podle potřeb

Pro čištění dílů vyplývají z toho náročné úkoly, které se týkají celého výrobního procesu. Požadavky na čistotu se liší podle produktu, oblasti použití a firmy. Obvykle je definice specifikací částicové čistoty, které u přesných a vysokoclean technologií sahají až do nanometrového rozsahu, stanovena pomocí třídy povrchové čistoty (ORK). Požadavky na požadovanou filmovou-chemickou, organickou a anorganickou čistotu povrchu jsou většinou definovány individuálními normami nebo výrobními normami, například emisními rychlostmi, které jsou vyhodnocovány pomocí hmotnostního spektrometru. Aby bylo možné tyto úkoly řešit efektivně, udržitelně a podle potřeb, je nutné mít jak komplexní technologické know-how, tak znalosti o aplikacích a fyzikálních souvislostech. Jako zkušený dodavatel komplexních řešení pro budoucí čištění s vysokou přesností a vysokou čistotou má Ecoclean obojí. To zajišťuje, že čištění je navrženo a vybaveno tak, aby bylo možné stabilně dosahovat požadovaných specifikací čistoty až po současné nejvyšší požadavky (například třída 1).

Výběr správného čisticího procesu a techniky zařízení

Klíčovými kritérii při výběru optimálního čisticího procesu a techniky zařízení jsou požadovaná čistota, typ nečistot, které je třeba odstranit, a materiál a geometrie dílu. Na základě toho lze určit, které a kolik procesních kroků s jakým čisticím médiem a mechanikou je třeba provést. Aspekty jako kvalita mycího média a technologie sušení jsou do tohoto posuzování rovněž zahrnuty, stejně jako správné manipulace s díly a okolní podmínky, například připojení nebo integrace do čistého prostředí.

Pokud je jako specifikace stanoveno například „olej a tuk zdarma“, například třída 4, jsou k dispozici nákladově efektivní a kompaktní vakuové komorové systémy, jejichž technika, vedení médií, úprava a konstrukce jsou speciálně přizpůsobeny pro vysoce kvalitní čištění. S těmito zařízeními, které pracují s ekologicky šetrnými rozpouštědly nebo vodou založenými čisticími prostředky, lze i u geometricky složitých dílů stabilně dosáhnout požadovaného výsledku. K tomu přispívají téměř libovolně kombinovatelné možnosti procesu, jako je injekční mytí, postřik, vysokotlaké čištění, ponoření, ultrazvukové nebo megazvukové čištění, stejně jako plazmové čištění nebo ultrazvuk Plus či Pulsated Pressure Cleaning (PPC). Často se při těchto aplikacích kvůli výhodám médií, například možnosti čištění různých materiálů, používá modifikovaný alkohol (polárnější rozpouštědlo). Mezní hranice, kterou lze s těmito zařízeními dosáhnout, je například třída 2.

Zvláště u velkých dílů mají komorové čisticí zařízení výhodu díky koncentrované mechanice v pracovní komoře, například PPC, ultrazvukové nebo megazvukové čištění a injekční mytí. Aby bylo možné tyto výhody využít i při požadavcích na čistotu třídy 2 nebo odpovídajících specifikacích, vyrábí Ecoclean s dvojkomorovým systémem EcoCvela pro čištění vodou založenými médii. Kromě speciální výbavy pro vysokou čistotu zajišťují úplně oddělené okruhy médií pro čištění a máčení, že je možné dosáhnout definovaného výsledku čištění procesně spolehlivě a reprodukovatelně.

Pokud nelze kvůli rozmanitosti materiálů a/nebo vysokým požadavkům na průchodnost nebo čistotu, například třídu 1, řešit úkoly čištění pomocí zařízení s relativně krátkou dodací dobou, je nutné použít vícekomorové ultrazvukové čisticí zařízení. S řešeními založenými na standardizovaných modulech v řadách UCMSmartLine nebo UCMPerformanceLine nabízí skupina SBS Ecoclean efektivní řešení i v této oblasti. Díky integrované elektronice a řídicí technice pro kroky čištění, máčení, sušení, nakládku a vykládku a díky flexibilnímu dopravnímu systému umožňují snadné přizpůsobení konkrétním úkolům a lze je rozšířit podle potřeby. Individuálně navržené vícekomorové ultrazvukové čisticí zařízení, jako je UCM HighLine, jsou obvykle používána u vysoce výkonných aplikací, například v dodavatelském řetězci polovodičů, laserovém a optickém průmyslu.

Vývoj a návrh procesu v testovacím centru

To, které zařízení je vhodné z hlediska čistoty a ekonomičnosti, se určuje pomocí čisticích zkoušek s originálními díly nebo zkušebními vzorky. Ecoclean má k dispozici příslušná testovací centra pro vysokou čistotu. To umožňuje vývoj procesů čištění a jejich parametrů na míru produktu, které lze uložit jako programy do řídicího systému zařízení. To zajišťuje, že každý díl je ošetřen podle validovaných parametrů procesu a požadovaná čistota je dosažena stabilně a reprodukovatelně. Navíc je možné všechny důležité parametry procesu sledovat, dokumentovat a předávat je nadřazeným systémům.