Optimálisan testreszabott megoldások precíziós és magas tisztaságú alkalmazásokhoz

Nagyon sokféle anyag, magas átviteli igények és a 2. és 1. fokozatnak megfelelő tisztasági előírások esetén a többmedencés ultrahangos tisztítórendszerek optimális megoldást jelentenek. A tisztító- és öblítőállomások szabadon kombinálhatók, lehetővé téve még különböző tisztítószerek és öblítővíz-minőségek használatát is. (Kép forrása: Ecoclean)

A folyamatfejlesztéshez és az alkatrészspecifikus kezelési paraméterek meghatározásához magas tisztaságú tesztközpontok állnak rendelkezésre tisztatérrel és megfelelő elemzőberendezésekkel. (Kép forrása: Ecoclean) / High-purity tesztközpontok tisztatérrel és a megfelelő elemzőberendezésekkel állnak rendelkezésre a folyamatok fejlesztéséhez és az alkatrészspecifikus tisztítási paraméterek meghatározásához. (Fotó: Ecoclean)

Konstrukció, feldolgozás és felszereltség megakadályozza a re- és keresztkontaminációkat. Ezek úgy vannak kialakítva, hogy csatlakoztathatók vagy integrálhatók legyenek egy tisztatérbe. (Kép forrása: Ecoclean) / The design, workmanship and features of the systems prevent cross-contamination and re-contamination. They are designed for connection or integration into a cleanroom. (Photo credit: Ecoclean)

A víz alapú anyagokhoz tervezett kettős kamrás rendszer szerkezete és különleges magas tisztasági jellemzői lehetővé teszik nagyobb alkatrészek hatékony tisztítását, így a tisztasági előírásoknak megfelelő Grade 2 szinten stabilan elérhetőek. (Kép forrása: Ecoclean) / Thanks to the design and special high-purity features of the double chamber system for aqueous media, even large-sized components can be cleaned efficiently to ensure that cleanliness specifications corresponding to Grade 2 are consistently achieved. (Photo credit: Ecoclean)

A Pulsated Pressure Cleaning (PPC) eljárási lehetőség biztosítja, hogy a szennyeződések még a legkisebb üregek, legfinomabb kapilláris szerkezetek és pórusos felületek esetén is eltávolításra kerüljenek összetett alkatrészeken. (Kép forrása: Ecoclean) / A Pulsated Pressure Cleaning (PPC) folyamat lehetőség hatékonyan távolítja el a szennyeződéseket – még a legkisebb üregekből, legfinomabb kapilláris szerkezetekből és pórusos felületekről is összetett alkatrészeken. (Kép hitelesítése: Ecoclean)

Apró milliméteres összekötő elem, összetett precíziós optika vagy méregtengelyes berendezésalkatrész, a magas technológiai alkatrészek tisztasági követelményei egyre szigorúbbak és igényesebbek számos iparágban. A konkrét specifikációk változnak az alkatrész, az iparág és a felhasználási terület szerint, azonban hagyományos tisztítórendszerekkel általában nem érhetők el azok az eredmények, amelyek a stabil termékminőséghez szükségesek. Mint évek óta tapasztalattal rendelkező megoldásszolgáltató a precíziós és magas tisztaságú tisztítás területén, az Ecoclean következetesen fejleszti a tisztítórendszerek, eljárások és folyamatok fejlesztését ezen a területen, többek között kifejezetten kialakított felszereléscsomagokkal.

Olyan iparágakban, mint például a félvezető beszállítói ipar, optikai és optoelektronikai ipar, vékonyfilm-technológia, vákuum-, lézer- és elemzőtechnika, valamint orvostechnika, ahol a komponensek és alkatrészek teljesítőképességére és megbízhatóságára támasztott követelmények jelentősen növekedtek és tovább növekednek. Ez hatással van az alkatrészek tisztítására is.

Magasabb tisztasági követelmények az új termékek és folyamatok révén

A félvezetőgyártó berendezések alkatrészeire új fejlesztések, például EUV-litográfiához használt waferléptetők és szkennerek esetében, nemcsak egyre összetettebb geometriai formájú mechanikus alkatrészek jellemzőek, hanem egyre nagyobbak és nehezebbek is lesznek. Ezeknek a berendezéseknek a átmérője ma már milliméterről több méterre terjed, miközben a „olló” folyamatosan szétnyílik. Egyidejűleg növekszik az anyagválaszték is. Emellett a részecskék, filmkémiai, szerves és szervetlen tisztasági specifikációk egyre szigorúbbak. Hasonló a helyzet vákuumtechnikai alkatrészek esetében, amelyeket UHV-, XHV- és UCV-tartományban használnak, például nagy teljesítményű lézerrendszerekben, magas technológiai mérő- és elemzőeszközökben. Precíziós optikák, mint tükrök, lencsék és prizmák, valamint mikrooptikai alkatrészek esetében a bonyolultabb geometriák és változott anyagok miatt szintén új és kihívást jelentő tisztítási feladatok merülnek fel. A bevonástechnológiában egyre erősebb folyamatok igényelnek magas tisztaságú felületeket. Ez független attól, hogy gépalkatrészeket, autóipari komponenseket vagy optikai termékeket tisztítanak a bevonás előtt vagy után.

Az igények szerinti tisztaság meghatározása

A alkatrész tisztítási feladatok kihívást jelentenek, amelyek a teljes gyártási folyamat során végigkísérik a gyártót. A tisztasági követelmények termékenként, felhasználási területenként és vállalatonként változnak. Általában a részecskeszám szerinti tisztasági specifikációkat, amelyek precíziós és magas tisztaságú alkalmazások esetében nanométeres tartományig terjednek, az ún. felületi tisztasági osztály (ORK) meghatározásával adják meg. A filmkémiai, szerves és szervetlen felületi tisztaságra vonatkozó előírásokat általában egyedi specifikációk vagy gyártói normák határozzák meg, például az elgázosodási ráták, amelyeket tömegspektrométerekkel értékelnek. Ezeket a feladatokat hatékonyan, a szükséges szinten és fenntartható módon megoldani csak a technológiai ismeretek és az alkalmazások, valamint a fizikai összefüggések alapos ismerete mellett lehetséges. Mint tapasztalt teljeskörű szolgáltató a jövőorientált megoldások terén a precíziós és magas tisztaságú tisztításban, az Ecoclean mindkettővel rendelkezik. Ez garantálja az igény szerint kialakított és felszerelt tisztítási megoldásokat, amelyekkel a meghatározott tisztasági specifikációk, akár a legmagasabb jelenlegi követelmények (például Grade 1) is stabilan elérhetők.

Az optimális tisztítási eljárás és berendezéstechnika kiválasztása

A legfontosabb szempontok az optimális tisztítási eljárás és berendezéstechnika kiválasztásában a elérendő tisztaság, a leválasztandó szennyeződés típusa, valamint az alkatrész anyaga és geometriája. Ezen alapul meghatározható, hogy mely és hány folyamatlépés szükséges, milyen tisztítási közeggel és mechanikával. Olyan szempontok, mint a mosóközeg minősége és a szárítási technológia, ugyancsak szerepet játszanak ebben a döntésben, ahogyan a tisztaságnak megfelelő alkatrészkezelés és a környezeti feltételek, például a csatlakoztatás vagy a tisztatérbe való integráció.

Amennyiben a specifikáció például a „olaj- és zsírmentes” (például Grade 4), költséghatékony és kompakt teljes vákuumos kamrás berendezések állnak rendelkezésre, amelyek technológiájuk, közegkezelésük és felépítésük kifejezetten a csúcstechnológiai tisztítási alkalmazásokhoz lettek kialakítva. Ezekkel a berendezésekkel, amelyek környezetbarát oldószerekkel vagy vízalapú tisztítószerekkel működnek, stabil eredmény érhető el geometriailag összetett alkatrészek esetében is. Ehhez hozzájárulnak a szinte bármilyen kombinációban alkalmazható eljárási lehetőségek, mint például injektálásos mosás, permetezés, nagynyomású, merülő, ultrahangos vagy nagy teljesítményű plazma tisztítás, valamint ultrahang Plus vagy Pulsated Pressure Cleaning (PPC). Gyakran ezeknél a folyamatoknál a médiumok adta előnyök miatt, például a különböző anyagok tisztítására való lehetőség miatt, egy módosított alkohol (részben poláris oldószer) kerül alkalmazásra. Ezen berendezések által elérhető követelmények határa például a Grade 2.

Főként nagy alkatrészek esetében a kamrás tisztítórendszerek előnyösek a koncentrált folyamatmechanika révén, például PPC, ultrahang vagy nagy teljesítményű ultrahang, injektálásos mosás esetén. Annak érdekében, hogy ezeket a Grade 2 vagy az ehhez hasonló tisztasági specifikációk esetén is kihasználhassák, az Ecoclean a EcoCvela dupla kamrás rendszereket gyárt vízalapú tisztítószerekhez. A speciális magas tisztaságú felszerelés mellett a különálló közegkörök a tisztításhoz és öblítéshez biztosítják, hogy a meghatározott tisztítási eredmény folyamatbiztosan és reprodukálhatóan elérhető legyen.

Amennyiben a nagy anyagválaszték vagy a magas átviteli igények, illetve a tisztasági specifikációk, például Grade 1, miatt nem oldhatók meg a tisztítási feladatok egy rövid határidővel szállítható kamrás rendszerrel, szükségessé válik egy többmedencés ultrahangos tisztítórendszer. A standard modulokból álló UCMSmartLine vagy UCMPerformanceLine modellek sorozat megoldásokat kínál az SBS Ecoclean Group ezen a területen is. Ezek a modulokba integrált elektromos és vezérlőtechnika révén lehetővé teszik a tisztítás, öblítés, szárítás, betöltés és kirakodás folyamatainak egyszerű testreszabását, és szükség szerint bővíthetők. Egyedi tervezésű, többmedencés ultrahangos tisztítórendszerek, mint például az UCM HighLine, általában csúcstechnológiai alkalmazásokban, például a félvezető beszállítói iparban, lézer- és optikai iparban kerülnek alkalmazásra.

Folyamatfejlesztés és -tervezés a Tesztközpontban

Az, hogy melyik berendezés-konfiguráció a legmegfelelőbb a tisztaság és gazdaságosság szempontjából, eredeti alkatrészek vagy próbadarabok tisztítási próbáival derül ki. Az Ecoclean ehhez megfelelő magas tisztaságú tesztközpontokkal rendelkezik. Ez lehetővé teszi a gyártóspecifikus tisztítási folyamatok és paraméterek fejlesztését, amelyek programként tárolhatók a berendezés vezérlésében. Ez biztosítja, hogy minden alkatrész a validált folyamatparaméterekkel legyen kezelve, és a kívánt tisztaság stabilan és reprodukálhatóan elérhető legyen. Emellett minden releváns folyamatparaméter figyelemmel kísérhető, dokumentálható és átadható a felügyelő rendszereknek.