Soluzioni ottimizzate su misura per applicazioni di precisione e alta purezza

In presenza di una grande varietà di materiali, elevate esigenze di rendimento e specifiche di pulizia corrispondenti ai Gradi 2 e 1, i sistemi di pulizia ultrasuoni a più vasche rappresentano una soluzione ottimale. Le stazioni di pulizia e risciacquo possono essere combinate liberamente, consentendo anche l'uso di diversi mezzi di pulizia e qualità dell'acqua di risciacquo. (Fonte immagine: Ecoclean)

Per lo sviluppo dei processi e la progettazione dei parametri di trattamento specifici per i pezzi, sono disponibili centri di prova ad alta purezza con camere bianche e attrezzature analitiche adeguate. (Fonte immagine: Ecoclean) / High-purity test centers with cleanrooms and the appropriate analysis equipment are available for developing processes and determining part-specific cleaning parameters. (Photo credit: Ecoclean)

Costruzione, lavorazione e dotazioni degli impianti impediscono contaminazioni crociate e di recontaminazione. Sono progettati per il collegamento o l'integrazione in una camera bianca. (Fonte immagine: Ecoclean)

La costruzione e le caratteristiche speciali di alta purezza del sistema a doppia camera per i media acquosi consentono una pulizia efficiente anche di componenti di grandi dimensioni, garantendo costantemente le specifiche di pulizia corrispondenti al grado 2. (Fonte immagine: Ecoclean) / Thanks to the design and special high-purity features of the double chamber system for aqueous media, even large-sized components can be cleaned efficiently to ensure that cleanliness specifications corresponding to Grade 2 are consistently achieved. (Photo credit: Ecoclean)

L'opzione di processo Pulsated Pressure Cleaning (PPC) garantisce che le contaminazioni vengano rimosse anche da più piccoli cavità, strutture capillari sottili e superfici porose di componenti complessi. (Fonte immagine: Ecoclean) / The Pulsated Pressure Cleaning (PPC) process option removes contaminants effectively - even from the smallest cavities, finest capillary structures and porous surfaces of complex components. (Photo credit: Ecoclean)

Piccolo elemento di collegamento, ottica di precisione complessa o componente di grande dimensione per impianti, le esigenze di pulizia per componenti high-tech diventano sempre più esigenti e rigorose in numerosi settori. Le specifiche concrete variano a seconda del componente, del settore industriale e dell'uso, ma con impianti di pulizia convenzionali di solito non si riesce a ottenere il risultato necessario per una qualità di prodotto stabile. Come fornitore esperto da anni di soluzioni per la pulizia di precisione e ad alta purezza, Ecoclean promuove con determinazione lo sviluppo di impianti, processi e procedure di pulizia per questo settore, anche con pacchetti di attrezzature appositamente progettati.

Sono settori come ad esempio l'industria dei fornitori di semiconduttori, l'industria ottica ed optoelettronica, la tecnologia a film sottili, la tecnologia a vuoto, laser e analisi, nonché la tecnologia medica, in cui le richieste di prestazioni e affidabilità di componenti e parti sono aumentate enormemente e continuano a crescere. Ciò ha ripercussioni sulla pulizia dei componenti.

Requisiti di pulizia più elevati grazie a nuovi prodotti e processi

Per i componenti destinati agli impianti di produzione di semiconduttori, le nuove evoluzioni, come ad esempio i waferstepper e scanner per la litografia EUV, portano non solo a componenti meccanici sempre più complessi dal punto di vista geometrico, ma anche a dimensioni sempre maggiori e pesanti. I diametri di questi strumenti oggi variano da un millimetro a oltre un metro, con la "taglia" che si allarga continuamente. Parallelamente aumenta la varietà di materiali. Inoltre, le specifiche riguardanti la purezza particellare, chimico-filmica, organica e inorganica diventano sempre più rigorose. La stessa cosa vale per i componenti a vuoto, utilizzati in ambienti UHV, XHV e UCV, ad esempio in sistemi laser ad alte prestazioni, strumenti di misura e analisi high-tech. Per quanto riguarda ottiche di precisione come specchi, lenti e prismi, così come parti microottiche, le geometrie più complesse e i materiali modificati pongono nuove e impegnative sfide di pulizia. Nella tecnologia di rivestimento, processi sempre più performanti richiedono superfici altamente pulite. E ciò indipendentemente dal fatto che le parti, come utensili, componenti automobilistici e prodotti ottici, debbano essere pulite prima o dopo un rivestimento.

Definizione della pulizia in base alle esigenze

Per la pulizia dei componenti si presentano quindi compiti impegnativi che si estendono lungo tutto il processo di produzione. Le esigenze di pulizia variano a seconda del prodotto, dell'uso e dell'azienda. Di norma, la definizione delle specifiche di pulizia particellare, che per applicazioni di precisione e alta purezza arrivano fino al livello nanometrico, avviene tramite indicazioni sulla classe di purezza superficiale (ORK). Le specifiche relative alla purezza superficiale filmica, chimico-organica e inorganica vengono di solito definite tramite indicazioni personalizzate o norme aziendali, ad esempio i tassi di degasaggio, valutati tramite spettrometri di massa. Per risolvere questi compiti in modo adeguato, efficiente e sostenibile, è necessario possedere sia una vasta conoscenza tecnologica sia una comprensione delle applicazioni e delle relazioni fisiche. Come fornitore completo di soluzioni orientate al futuro per la pulizia di precisione e ad alta purezza, Ecoclean possiede entrambe le competenze. Ciò garantisce soluzioni di pulizia progettate e attrezzate in modo da soddisfare le esigenze, con la capacità di raggiungere in modo stabile specifiche di pulizia definite fino ai requisiti più elevati attualmente (ad esempio, grado 1).

Selezione del metodo di pulizia e della tecnologia dell'impianto appropriati

I criteri principali nella scelta del metodo di pulizia e della tecnologia dell'impianto più adatti sono la pulizia desiderata, le impurità da rimuovere, nonché il materiale e la geometria del componente. Sulla base di ciò, si può stabilire quali e quanti passaggi di processo sono necessari, con quale mezzo di pulizia e quale meccanica. Aspetti come la qualità del mezzo di lavaggio e la tecnologia di asciugatura sono altrettanto importanti, così come la gestione delle parti in modo pulito e le condizioni ambientali, ad esempio il collegamento o l'integrazione in una camera bianca.

Se come specifica si definisce lo standard "olio e grasso libero", ad esempio grado 4, sono disponibili impianti compatti e a vuoto totale, con tecnologia di impianto, conduzione dei media e progettazione appositamente adattate per applicazioni di pulizia di alta gamma. Con questi impianti, che operano con solventi ecocompatibili o con sistemi di pulizia a base d'acqua, è possibile ottenere risultati conformi ai requisiti anche con componenti geometricamente complessi. A contribuire a ciò sono opzioni di processo quasi infinite, come lavaggi a iniezione, spruzzi, alta pressione, immersione, ultrasuoni o megasonica, pulizia al plasma e ultrasuoni Plus o Pulsated Pressure Cleaning (PPC). Spesso, in queste applicazioni, si utilizza un alcool modificato (solvente parziale polare) per i vantaggi legati ai media, come la possibilità di pulire materiali diversi. Il limite delle prestazioni raggiungibili con questi impianti, ad esempio, è il grado 2.

Soprattutto per parti di grandi dimensioni, gli impianti di pulizia a camera offrono vantaggi grazie alla meccanica di processo concentrata presente nella camera di lavoro, come PPC, ultrasuoni o megasonica e lavaggi a iniezione. Per poter utilizzare queste tecnologie anche per specifiche di pulizia di grado 2 o superiori, Ecoclean produce sistemi di pulizia a doppia camera EcoCvela, appositamente progettati. Oltre alla speciale dotazione per alta purezza, i circuiti di media completamente separati per la pulizia e il risciacquo assicurano che il risultato di pulizia definito venga raggiunto in modo stabile e ripetibile.

Se, a causa della grande varietà di materiali e/o delle elevate esigenze di throughput o di specifiche di pulizia, ad esempio di grado 1, non è possibile risolvere i compiti di pulizia con un impianto a camera di consegna relativamente breve, è necessario un sistema di pulizia a ultrasuoni multi-bagno. La gamma di soluzioni della serie UCMSmartLine o UCMPerformanceLine, composta da moduli standardizzati, offre anche in questo settore soluzioni efficienti. Grazie all'integrazione di tecnologia elettrica e di controllo nei moduli, per i passaggi di processo di pulizia, risciacquo, asciugatura, carico e scarico, e alla possibilità di un sistema di trasporto flessibile, queste soluzioni consentono una facile adattabilità alle specifiche esigenze e possono essere ampliate secondo necessità. Impianti di pulizia a ultrasuoni multi-bagno personalizzati, come il UCM HighLine, sono generalmente utilizzati in applicazioni di alta gamma, ad esempio nell'industria dei semiconduttori, laser e ottica.

Sviluppo e pianificazione del processo nel centro di test

Quale concetto di impianto sia più adatto, dal punto di vista della pulizia e dell'efficienza economica, viene determinato tramite prove di pulizia con componenti originali o campioni di prova. Ecoclean dispone di appositi centri di prova ad alta purezza. Ciò consente lo sviluppo specifico del processo di pulizia e dei parametri di processo, che possono essere memorizzati come programmi nel sistema di controllo dell'impianto. Ciò garantisce che ogni pezzo venga trattato con i parametri di processo validati e che la purezza richiesta venga raggiunta in modo stabile e ripetibile. Inoltre, tutti i parametri di processo rilevanti possono essere monitorati, documentati e trasmessi ai sistemi superiori.