Optymalne rozwiązania dostosowane do zastosowań precyzyjnych i wysokiej czystości

Przy dużej różnorodności materiałów, wysokich wymogach wydajności i specyfikacjach czystości odpowiadających stopniom 2 i 1, wielostanowiskowe systemy mycia ultradźwiękowego z wieloma kąpielami stanowią optymalne rozwiązanie. Stanowiska do mycia i płukania można dowolnie łączyć, umożliwiając nawet użycie różnych mediów czyszczących i jakości wody płuczącej. (Źródło zdjęcia: Ecoclean)

Dla rozwoju procesów i ustalania parametrów czyszczenia specyficznych dla elementów dostępne są wysokiej czystości centra testowe z czystymi pomieszczeniami i odpowiednim sprzętem analitycznym. (Źródło zdjęcia: Ecoclean) / High-purity test centers with cleanrooms and the appropriate analysis equipment are available for developing processes and determining part-specific cleaning parameters. (Photo credit: Ecoclean)

Konstruktion, Verarbeitung und Ausstattung der Anlagen verhindern, dass es zu Re- und Kreuzkontaminationen kommt. Sie sind ausgelegt für eine Anbindung beziehungsweise Integration in einen Reinraum. (Bildquelle: Ecoclean) / The design, workmanship and features of the systems prevent cross-contamination and re-contamination. They are designed for connection or integration into a cleanroom. (Photo credit: Ecoclean)

Konstrukcja i specjalne cechy wysokiej czystości systemu dwukomorowego do mediów wodnych umożliwiają skuteczne czyszczenie nawet dużych elementów, przy czym specyfikacje czystości odpowiadające stopniowi 2 są stabilnie osiągane. (Źródło zdjęcia: Ecoclean) / Thanks to the design and special high-purity features of the double chamber system for aqueous media, even large-sized components can be cleaned efficiently to ensure that cleanliness specifications corresponding to Grade 2 are consistently achieved. (Photo credit: Ecoclean)

Opcja procesu Czyszczenia ciśnieniowego pulsacyjnego (PPC) zapewnia, że zanieczyszczenia są usuwane nawet z najmniejszych pustek, najcieńszych struktur kapilarnych i porowatych powierzchni skomplikowanych elementów. (Źródło zdjęcia: Ecoclean) / The Pulsated Pressure Cleaning (PPC) process option removes contaminants effectively - even from the smallest cavities, finest capillary structures and porous surfaces of complex components. (Photo credit: Ecoclean)

Mały element łączeniowy o wielkości milimetra, skomplikowana precyzyjna optyka lub duży element systemu, wymagania dotyczące czystości dla komponentów wysokotechnologicznych stają się coraz bardziej wymagające i rygorystyczne w wielu branżach. Konkretne specyfikacje różnią się w zależności od elementu, branży i zastosowania, jednak przy użyciu tradycyjnych urządzeń czyszczących zwykle nie można osiągnąć wyników niezbędnych do zapewnienia stabilnej jakości produktu. Jako doświadczony dostawca rozwiązań w zakresie czyszczenia precyzyjnego i wysokiej czystości, Ecoclean konsekwentnie rozwija technologie urządzeń czyszczących, procesów i metod w tym obszarze, między innymi z pomocą specjalnie zaprojektowanych pakietów wyposażenia.

Branże takie jak na przykład przemysł dostawczy dla półprzewodników, przemysł optyczny i optoelektroniczny, technologia cienkich warstw, technika próżniowa, laserowa i analityczna oraz medyczna, w których wymagania dotyczące wydajności i niezawodności komponentów i elementów znacznie wzrosły i nadal rosną, mają wpływ na czyszczenie elementów.

Wyższe wymagania dotyczące czystości w wyniku nowych produktów i procesów

W przypadku komponentów do urządzeń produkcyjnych półprzewodników, wynikających z nowych rozwiązań, między innymi w skanerach i stepperach EUV do litografii, pojawiają się nie tylko coraz bardziej geometrycznie skomplikowane, mechaniczne elementy, ale także coraz większe i cięższe. Średnice tych urządzeń dziś wahają się od kilku milimetrów do ponad metra, a „nożyce” między nimi nieustannie się poszerzają. Równocześnie rośnie różnorodność materiałów. Ponadto specyfikacje dotyczące czystości cząstkowej, filmowo-chemicznej, organicznej i nieorganicznej stają się coraz bardziej rygorystyczne. Podobnie jest w przypadku komponentów techniki próżniowej, używanych w zakresie UHV, XHV i UCV, na przykład w wysokowydajnych systemach laserowych, wysokiej klasy urządzeniach pomiarowych i analitycznych. W przypadku precyzyjnych optyk, takich jak lustra, soczewki i pryzmaty, a także mikrooptyki, wyzwania związane z czyszczeniem wynikają z bardziej skomplikowanych geometrii i zmienionych materiałów. W technologii powlekania coraz bardziej wydajne procesy wymagają bardzo czystych powierzchni. I to niezależnie od tego, czy elementy, takie jak narzędzia maszynowe, komponenty samochodowe czy produkty optyczne, muszą być czyszczone przed czy po powlekaniu.

Definiowanie czystości zgodnie z potrzebami

W zakresie czyszczenia elementów pojawiają się ambitne zadania, obejmujące cały proces produkcji. Wymagania dotyczące czystości różnią się w zależności od produktu, zastosowania i firmy. Zazwyczaj specyfikacje czystości cząstkowej, sięgające nanometrów w przypadku precyzyjnych i wysokiej czystości zastosowań, są określane przez klasy czystości powierzchni (ORK). Wymagania dotyczące filmowo-chemicznej, organicznej i nieorganicznej czystości powierzchni są zwykle ustalane na podstawie indywidualnych wytycznych lub norm zakładowych, na przykład wskaźników odgazowania, które są oceniane za pomocą spektrometrii mas. Aby skutecznie, efektywnie i zrównoważenie rozwiązać te zadania, konieczna jest zarówno szeroka wiedza technologiczna, jak i znajomość zastosowań oraz zjawisk fizycznych. Jako doświadczony kompleksowy dostawca przyszłościowych rozwiązań w zakresie czyszczenia precyzyjnego i wysokiej czystości, Ecoclean dysponuje oboma tymi elementami. To gwarantuje dostarczanie rozwiązań czyszczących zaprojektowanych i wyposażonych zgodnie z wymaganiami, które pozwalają stabilnie osiągać określone specyfikacje czystości, nawet przy najwyższych obecnie wymaganiach (np. Grade 1).

Dobór odpowiedniej metody czyszczenia i technologii urządzeń

Kluczowe kryteria przy wyborze optymalnej metody czyszczenia i technologii urządzeń to poziom czystości do osiągnięcia, rodzaj zanieczyszczenia do usunięcia oraz materiał i geometria elementu. Na tej podstawie można określić, które i ile etapów procesu jest koniecznych, z jakim medium czyszczącym i jaką mechaniką. Czynniki takie jak jakość medium płuczącego i technologia suszenia są równie ważne, jak właściwe obchodzenie się z elementami w trakcie czyszczenia i warunki otoczenia, na przykład podłączenie czy integracja w czystym pomieszczeniu.

Jeśli jako specyfikacja jest ustalony standard „olej i tłuszcz wolny”, na przykład Grade 4, dostępne są ekonomiczne i kompaktowe urządzenia w pełni próżniowe z jedną komorą, których technologia, prowadzenie i przygotowanie mediów oraz konstrukcja zostały specjalnie dostosowane do wysokiej klasy zastosowań czyszczących. Dzięki tym urządzeniom, które pracują z ekologicznymi rozpuszczalnikami lub wodnymi środkami czyszczącymi, można stabilnie osiągnąć wymagany poziom czystości nawet w przypadku geometrycznie skomplikowanych elementów. W tym pomagają niemal dowolnie łączone opcje procesowe, takie jak iniekcyjne mycie, natryskowe, wysokociśnieniowe, zanurzeniowe, ultradźwiękowe lub megadźwiękowe, a także czyszczenie plazmowe i ultradźwiękowe plus, czyli Pulsed Pressure Cleaning (PPC). Ze względu na korzyści wynikające z mediów, na przykład możliwość czyszczenia różnych materiałów, często stosuje się modyfikowany alkohol (rozpuszczalnik półpolarny). Granicą możliwości tych urządzeń jest na przykład Grade 2.

W szczególności przy dużych elementach, systemy czyszczące w komorze oferują zalety dzięki skoncentrowanej mechanice procesu w komorze roboczej, na przykład PPC, ultradźwięki lub megadźwięki oraz iniekcyjne mycie. Aby móc korzystać z tych rozwiązań również przy czystości Grade 2 lub podobnej, Ecoclean produkuje podwójne komory EcoCvela przeznaczone do czyszczenia z użyciem mediów wodnych. Oprócz specjalnego wyposażenia wysokiej czystości, oddzielne obiegi mediów do czyszczenia i płukania zapewniają, że określony wynik czyszczenia jest osiągany w sposób bezpieczny i powtarzalny.

Jeśli ze względu na dużą różnorodność materiałów i/lub wysokie wymagania przepustowości lub specyfikacje czystości, na przykład Grade 1, nie można rozwiązać zadań czyszczenia za pomocą urządzenia z krótkim czasem dostawy, konieczne jest zastosowanie wielokomorowego urządzenia ultradźwiękowego. Rozwiązania z modułów standardowych, takie jak serie UCMSmartLine lub UCMPerformanceLine, oferowane przez SBS Ecoclean Group, zapewniają również w tym zakresie skuteczne rozwiązania. Dzięki zintegrowanej technologii elektrycznej i sterującej w modułach, umożliwiającej etapy procesu, takie jak czyszczenie, płukanie, suszenie, załadunek i rozładunek, oraz wyposażeniu w elastyczny system transportowy, można łatwo dostosować je do konkretnego zadania i rozbudować w razie potrzeby. Indywidualnie zaprojektowane wielokomorowe urządzenia ultradźwiękowe, takie jak UCM HighLine, są zwykle stosowane w wysokiej klasy zastosowaniach, na przykład w przemyśle dostawczym dla półprzewodników, laserowym i optycznym.

Rozwój procesu i jego projektowanie w centrum testowym

Dobór odpowiedniej koncepcji urządzenia pod kątem czystości i efektywności ekonomicznej jest ustalany na podstawie prób czyszczenia z użyciem oryginalnych elementów lub próbek. Ecoclean dysponuje w tym celu odpowiednimi centrami testowymi wysokiej czystości. Umożliwia to opracowanie procesów czyszczenia i parametrów procesowych specyficznych dla produktu, które mogą być zapisane jako programy w sterowaniu urządzenia. To zapewnia, że każdy element jest traktowany zgodnie z zatwierdzonymi parametrami procesu, a wymagana czystość jest osiągana w sposób stabilny i powtarzalny. Ponadto wszystkie istotne parametry procesu mogą być monitorowane, dokumentowane i przekazywane do systemów nadrzędnych.