OmniGrade : Pfeiffer Vacuum propose un nouveau système RGA sur mesure pour des preuves de pureté exigeantes

Pfeiffer Vacuum propose un nouveau système RGA personnalisé pour une vérification de la propreté sophistiquée.

Système d'analyse de gaz résiduels avec de faibles limites de détection
Processus de mesure automatisé
Répondre de manière modulaire aux exigences des clients

Outre les pompes à vide, les détecteurs de fuites, les appareils de mesure et d'analyse, les composants ainsi que les chambres et systèmes à vide, Pfeiffer Vacuum propose désormais des solutions complètes sur mesure sous forme de systèmes d'analyse de gaz résiduels (RGA). Les marchés émergents en plein essor, avec des exigences techniques élevées, attachent de plus en plus d'importance à une propreté exceptionnelle, car les contaminations moléculaires affectent négativement la fonctionnalité de leurs produits. Par conséquent, un nombre croissant de clients exigent des niveaux de pureté plus élevés. Dans le domaine de la lithographie EUV, ces exigences sont notamment définies par les « Standards Généraux » GSA 07 1221 & GSA 07 2221. La clé pour garantir la qualité du produit réside dans la détermination précise des taux de dégazage sous conditions de vide poussé avec le nouveau système personnalisé de Pfeiffer Vacuum nommé OmniGrade.

OmniGrade est un système d'analyse de gaz résiduels hautement avancé, dont la conception est adaptée pour répondre aux exigences spécifiques de test. Une équipe d'experts de Pfeiffer Vacuum développe la solution optimale pour ces exigences, en tenant compte des coûts globaux et des délais de livraison. Une configuration comprend deux ou trois chambres. Elle se compose de la chambre du spectromètre, où le spectromètre de masse est positionné, ainsi que d'une chambre de mesure où les échantillons sont placés pendant la mesure. Une chambre de transfert pour minimiser le bruit de fond du système et le transport des échantillons via un système de transfert automatique est disponible en option. OmniGrade a été conçu pour un encombrement réduit et une intégration simple avec les interfaces les plus récentes. Une compatibilité avec les salles blanches est également possible. Le spectromètre de masse peut être choisi en fonction des exigences (PrismaPro ou HiQuad). Le chauffage thermique, soit du système seul, soit conjointement avec l’échantillon (bake-out), contribue à optimiser davantage la capacité de mesure et à améliorer la pureté des échantillons.

« OmniGrade a été équipé de composants à faible consommation d'énergie et de technologies avancées qui réduisent les déchets et les émissions. Il contribue à optimiser les processus de vérification de la pureté, ce qui entraîne moins de déchets et une utilisation plus efficace des ressources dans la production du client », a déclaré Patrick Walther, responsable des produits stratégiques Instruments chez Pfeiffer Vacuum, lors de la Precision Fair.