OmniGrade: Pfeiffer Vacuum oferuje nowy dopasowany system RGA do wymagających potwierdzeń czystości

Pfeiffer Vacuum oferuje nowy, dostosowany system RGA do zaawansowanej weryfikacji czystości.

– System do analizy gazów resztkowych z niskimi granicami wykrywalności
– Zautomatyzowany proces pomiarowy
– Modularne spełnianie wymagań klientów

Oprócz pomp próżniowych, wykrywaczy wycieków, urządzeń pomiarowych i analitycznych, elementów oraz komór próżniowych i systemów, Pfeiffer Vacuum oferuje teraz również indywidualnie dopasowane rozwiązania w postaci systemów do analizy gazów resztkowych (RGA). Dynamicznie rozwijające się rynki o wysokich wymaganiach technicznych coraz bardziej przykładają wagę do doskonałej czystości, ponieważ molekularne zanieczyszczenia negatywnie wpływają na funkcjonalność ich produktów. Dlatego coraz więcej klientów stawia wyższe wymagania dotyczące czystości. W dziedzinie litografii EUV są one na przykład określane przez „Standardy Ogólne” GSA 07 1221 i GSA 07 2221. Kluczem do zapewnienia jakości produktu jest prawidłowe określenie tempa odgazowania w warunkach wysokiej próżni za pomocą nowego, dostosowanego do klienta systemu Pfeiffer Vacuum o nazwie OmniGrade.

OmniGrade to zaawansowany system do analizy gazów resztkowych, którego konstrukcja jest tak dobrana, aby odpowiadała specyficznym wymaganiom testowym. Zespół ekspertów Pfeiffer Vacuum opracowuje najlepsze rozwiązanie dla tych wymagań, uwzględniając koszty ogólne i czas realizacji. Konfiguracja obejmuje dwa lub trzy komory. Składa się z komory spektrometru, w której umieszczony jest spektrometr masowy, oraz komory pomiarowej, w której umieszczane są próbki podczas pomiaru. Opcjonalnie dostępna jest komora przelotowa, mająca na celu minimalizację tła systemu i transportu próbek za pomocą automatycznego systemu transferowego. OmniGrade został zaprojektowany tak, aby zajmował niewiele miejsca i był łatwy do integracji z najnowszymi interfejsami. Dodatkowo możliwa jest kompatybilność z czystymi pomieszczeniami. Spektrometr masowy można wybrać zgodnie z wymaganiami (PrismaPro lub HiQuad). Termiczne podgrzewanie, zarówno samego systemu, jak i próbki (Bake-out), przyczynia się do dalszej optymalizacji możliwości pomiarowych i poprawy czystości próbek.

„OmniGrade został wyposażony w energooszczędne komponenty i zaawansowane technologie, które redukują odpady i emisje. Przyczynia się do optymalizacji procesów kontroli czystości, co prowadzi do mniejszej ilości odpadów i bardziej efektywnego wykorzystania zasobów w produkcji klienta” — powiedział Patrick Walther, Strategic Product Manager Instruments w Pfeiffer Vacuum, podczas Precision Fair.